Gettering in Large-Grained Thin Polycrystalline Silicon Films on Glass Substrate
Gettering in Large-Grained Thin Polycrystalline Silicon Films on Glass Substrate
复制标题
玻璃基板上大晶粒多晶硅薄膜的吸杂
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Tsutomu Sato
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Akito Hara;Tsutomu Sato
镍注入非晶硅薄膜中的硅化物沉淀和硅结晶
影响因子：
2.7
作者：
R. Cammarata;C. Thompson;C. Hayzelden;K. Tu
通讯作者：
K. Tu
半导体中的电子自旋共振
DOI：
10.1016/s0081-1947(08)60458-0
发表时间：
1962
期刊：
Journal of Physics C: Solid State Physics
影响因子：
--
作者：
G. W. Ludwig;H. Woodbury
通讯作者：
H. Woodbury