Ultra-High Space-Time Localization of Laser Energy for 3D Fabrication Inside Semiconductors
Ultra-High Space-Time Localization of Laser Energy for 3D Fabrication Inside Semiconductors
复制标题
用于半导体内部 3D 制造的激光能量超高时空定位
DOI：
10.1109/cleo/europe-eqec57999.2023.10232167
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wang A
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Wang A
使用短激光脉冲进行砷化镓的内部结构。
影响因子：
3.8
作者：
Amlan Das;Andong Wang;O. Utéza;D. Grojo
通讯作者：
D. Grojo