スバッタ成膜a-Si:Hを用いたレーザー誘起誘電泳動による光MEMS拡散センサーの開発
スバッタ成膜a-Si:Hを用いたレーザー誘起誘電泳動による光MEMS拡散センサーの開発
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使用溅射沉积 a-Si:H 进行激光诱导介电泳开发光学 MEMS 扩散传感器
DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
長坂雄次
中科院分区:
文献类型:
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作者:
鎌田慎;山田幹; 田口良広; 長坂雄次
影响因子:
2.7
作者:
T. Oka;K. Itani;Y. Taguchi;Y. Nagasaka
通讯作者:
T. Oka;K. Itani;Y. Taguchi;Y. Nagasaka
DOI:
10.1021/jp054865g
发表时间:
2006
期刊:
The journal of physical chemistry. B
影响因子:
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作者:
N. Kanzaki;T. Uyeda;K. Onuma
通讯作者:
K. Onuma