In situ synthesis of a highly cross-linked polymethacrylimide ultrathin film on a silicon wafer with applicable dielectric, thermal, and mechanical properties
In situ synthesis of a highly cross-linked polymethacrylimide ultrathin film on a silicon wafer with applicable dielectric, thermal, and mechanical properties
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在硅片上原位合成高度交联的聚甲基丙烯酰亚胺超薄膜，具有适用的介电、热和机械性能
DOI：
10.1016/j.tsf.2020.138308
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发表时间：
2020-10
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Li Ming
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Liu Yang;Han Yutong;Xiong Lishuang;Hang Tao;Ling Huiqin;Hu Anmin;Gao Liming;Wu Yunwen;Li Ming
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影响因子：
6.7
作者：
A. Girard;F. Geneste;N. Coulon;C. Cardinaud;T. Mohammed‐Brahim
通讯作者：
A. Girard;F. Geneste;N. Coulon;C. Cardinaud;T. Mohammed‐Brahim
影响因子：
--
作者：
Jing Zhang;Rui Ye;J. Zou;Jijun Tang;Hongliang Wang
通讯作者：
Jing Zhang;Rui Ye;J. Zou;Jijun Tang;Hongliang Wang
影响因子：
6.7
作者：
Minghua Chen;Jinghua Yin;Wenbin Bu;Xiaoxu Liu;B. Su;Q. Lei
通讯作者：
Minghua Chen;Jinghua Yin;Wenbin Bu;Xiaoxu Liu;B. Su;Q. Lei
DOI：
10.1149/06906.0091ecst
发表时间：
2015-09
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
T. Dequivre;Elias Al Alam;J. Plathier;A. Ruediger;G. Brisard;S. Charlebois
通讯作者：
T. Dequivre;Elias Al Alam;J. Plathier;A. Ruediger;G. Brisard;S. Charlebois
影响因子：
8.6
作者：
Bo Chen;Austen K. Flatt;Huahua Jian;Jared L. Hudson;J. Tour
通讯作者：
Bo Chen;Austen K. Flatt;Huahua Jian;Jared L. Hudson;J. Tour