Lithography Using Focused High-Energy Proton Beam for Fabrication of High-Aspect-Ratio Microstructures
Lithography Using Focused High-Energy Proton Beam for Fabrication of High-Aspect-Ratio Microstructures
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使用聚焦高能质子束光刻技术制造高深宽比微结构
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Kamiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Nishikawa;Y.Furuta;N.Uchiya;J.Haga;M.Oikawa;T.Satoh;Y.Ishii;T.Kamiya
通过质子束写入对硅上的抗蚀剂进行微加工
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B260
影响因子：
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作者：
N.Uchiya;T.Harada;M.Murai;H.Nishikawa;J.Haga;T.Sato;Y.Ishii and T.Kamiya
通讯作者：
Y.Ishii and T.Kamiya