Effects of structural fluctuations on the photonic bandgap during fabrication of a photonic crystal
Effects of structural fluctuations on the photonic bandgap during fabrication of a photonic crystal
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光子晶体制造过程中结构涨落对光子带隙的影响
DOI：
10.1364/josab.16.000240
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发表时间：
1999
影响因子：
1.9
通讯作者：
S. Noda
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
A. Chutinan;S. Noda
从理论上研究了光子晶体制备过程中结构波动对光子带隙的影响。我们考虑了条纹位置不对准、相交角偏差、层厚变化和条纹宽度变化等不规则性。计算结果表明，条纹的错位对带隙宽度的影响最大。然而，光子晶体对结构不规则性具有相当强的鲁棒性，因此即使不规则度为15%，带隙仍然高达11%。
We study theoretically the effect of structural fluctuations on the photonic bandgap during fabrication of a photonic crystal. We consider irregularities such as misalignment of stripe position, deviation of intersecting angle, variation of layer thickness, and variation of stripe width. The results of our calculations show that misalignment of the stripes affects the width of the bandgap most. However, the photonic crystal is fairly robust to structural irregularities, so even with an irregularity of 15% the bandgap remains as large as 11%.
N.Yamamoto：“利用激光束衍射图案观察技术和晶圆融合实现三维光子晶体结构的 100 nm 级对准”Jpn.J.Appl.Phys。
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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作者：
通讯作者：
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使用利用激光束衍射图案观察技术的对准系统观察GaAs条纹图案
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
10th Int.Workshop Femtosecond Technology (発表)
影响因子：
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作者：
H.Isshiki;A.Polman;T.Kimura;森下 義隆
通讯作者：
森下 義隆