Residual Stress Distribution in Thin Films with Fiber Texture Measured by Grazing Incidence and Scattering Vector X-Ray Methods

Residual Stress Distribution in Thin Films with Fiber Texture Measured by Grazing Incidence and Scattering Vector X-Ray Methods
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掠入射和散射矢量 X 射线法测量纤维织构薄膜中的残余应力分布

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Journal of the Society of Materials Science, Japan Vol. 54, No. 7
影响因子:
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通讯作者:
T.Ito
T.Ito
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K.Tanaka;Y.Akiniwa;M.Kawai;T.Ito

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: 10.2472/jsms.52.764
发表时间: 2003
期刊: Journal of The Society of Materials Science, Japan
影响因子: --
作者:
Y. Akiniwa;Keisuke Tanaka;Kenji Suzuki;E. Yanase;K. Nishio;Y. Kusumi;H. Okado;K. Arai
通讯作者: K. Arai
TiN 薄膜中的残余应力及其热弛豫
DOI: 10.1016/0040-6090(96)08632-4
发表时间: 1996
期刊: Thin Solid Films
影响因子: 2.1
作者:
T. Matsue;T. Hanabusa;Y. Ikeuchi
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