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Semiconductor Profile Plotter

半导体轮廓绘图仪

基本信息

批准号：
8216619
负责人：
Arthur Milnes
金额：
$ 1.27万
依托单位：
Carnegie-Mellon University
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1983
资助国家：
美国
起止时间：
1983-06-15 至 1984-11-30
项目状态：
已结题

来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8216619&HistoricalAwards=false
关键词：
Semiconductor Profile Plotter

项目摘要

项目成果

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