Workshop - Application of Plasma and Lasers in Electronics, Chemical, and Material Processing (San Diego State University; February 23-24, 1987)

研讨会 - 等离子和激光在电子、化学和材料加工中的应用（圣地亚哥州立大学；1987 年 2 月 23-24 日）

• 批准号: 8606189
• 负责人: Long Lee
• 金额: $ 1.43万
• 依托单位: San Diego State University Foundation
• 依托单位国家: 美国
• 项目类别: Standard Grant
• 财政年份: 1986
• 资助国家: 美国
• 起止时间: 1986-07-01 至 1987-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8606189&HistoricalAwards=false
• 关键词: Workshop; Application; Plasma; Lasers; Electronics

This project is a workshop on the use of plasmas and lasers in electronic material processing. The workshop is to be held at San Diego State University on February 23 and 24, 1987. The topics covered relate to dry processing methods and include: plasma etching mechanisms, molecule-surface-interactions, application of molecular spectroscopy to diagnostics of etching and chemical vapor deposition, and applications of laser to microelectronics fabrication. The workshop includes a panel discussion focusing on critical scientific and technical issues that need further extensive research and on new methods to be developed for material processing in the future.

这个项目是一个关于在电子材料加工中使用等离子体和激光的讲习班。讲习班将于1987年2月23日和24日在圣地亚哥州立大学举行。主题涉及干法加工方法，包括：等离子体蚀刻机制，分子表面相互作用，分子光谱在蚀刻诊断和化学气相沉积中的应用，以及激光在微电子制造中的应用。研讨会包括一个小组讨论，重点讨论需要进一步广泛研究的关键科学和技术问题，以及未来要开发的材料加工新方法。