Microfabricated Electrostatic Motor System

微加工静电电机系统

• 批准号: 8614328
• 负责人: Jeffrey Lang
• 金额: $ 66.53万
• 依托单位: Massachusetts Institute of Technology
• 依托单位国家: 美国
• 项目类别: Continuing Grant
• 财政年份: 1987
• 资助国家: 美国
• 起止时间: 1987-06-01 至 1990-11-30
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8614328&HistoricalAwards=false
• 关键词: Microfabricated; Electrostatic; Motor; System

The goal of this research is to design, develop, and demonstrate a microfabricated electrostatic motor. The work will apply technologies of microelectronics to the fabrication of mechanical devices, especially an electric motor with a radius of 300 microns capable of 2.4 million RPM. This research will build on the emerging technology of microsensors and could open a new area of microactuators.

本研究的目标是设计、开发和展示一种 微型静电马达 这项工作将应用技术 从微电子到机械设备的制造， 特别是半径为300微米的电动机， 2.4百万RPM 这项研究将建立在新兴技术的基础上 微传感器，并可能打开一个新的领域的微执行器。