权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

Absolutverfahren zur Messung rotationssymmetrischer asphärischer Linsen im Durchlicht

透射光下测量旋转对称非球面透镜的绝对法

基本信息

批准号：
101762086
负责人：
Professor Dr. Norbert Lindlein
金额：
--
依托单位：
Institut für Optik, Information und Photonik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2008
资助国家：
德国
起止时间：
2007-12-31 至 2011-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/101762086?language=en
关键词：
Absolutverfahren zur Messung rotationssymmetrischer asph

项目摘要

Prüfverfahren für Asphären werden gewöhnlich mit Hilfe von diffraktiven Normalelementen durchgeführt. Diese Techniken erfordern jedoch zunehmend Kalibrierverfahren, um die systematischen Fehler des Interferometers, und insbesondere die des diffraktiven Elements, zu beseitigen. Obwohl die Auflichtprüfung nach wie vor das bevorzugte Instrument der Asphärenprüfung ist, besitzt die Durchlichtprüfung eine Reihe von Vorteilen. Der wichtigste Vorzug - neben der Reduktion störender Beugungsordnungen und der im diffraktiven Element benötigten Raumfrequenzen - besteht dabei in der Verringerung von Streulicht, da Störreflexe der Einzelflächen innerhalb des Aufbaus nicht im Interferogramm erscheinen. Außerdem ist die Durchlichtprüfung nicht nur für die Fehler der asphärischen Oberfläche einer asphärischen Linse sensitiv, sondern liefert die Fehler des gesamten Elements, was in der Praxis entscheidend ist. Der Durchlichttest ergänzt damit den Oberflächentest der Asphäre. Hier wird nun ein Kalibrierverfahren im Durchlicht vorgeschlagen, das die Einzelbeiträge des Fehlerbudgets - Interferometerfehler ohne diffraktives Element, Substrat- sowie Strukturierungsfehler des diffraktiven Elements - getrennt voneinander ermittelt. Die dazu im Sinne eines Mehrstellungstests benötigten Messpositionen sollen unter anderem mit Hilfe eines Mehr-Wellenfronten-DOE ermöglicht werden.

Prüfverfahren für Asphären韦尔登gewöhnlich mit Hilfe von diffraktiven Normalelementen durchgeführt.该技术致力于改进校准方法，使干涉仪系统化，并将衍射元件引入其中。显然，Aflichtprüfung nach wie vor das bevorzugte Instrument der Asphärenprüfung ist，besitzt die Durchlichtprüfung eine Reihe von Vorteilen. Der wichtigste Vorzug - neben der Reduktion störender Beugungsordnungen und der im diffraktiven Element benötigten Raumfrequenzen - besteht dabei in der Verringerung von Streulicht，da Störreflexe der Einzelflächen innerhalb des Aufbaus nicht im Interferogramm erscheinen. Außerdem ist die Durchlichtprüfung努尔für die Fehler der asphärischen Oberfläche einer asphärischen Linse sensitiv，sondern liefert die Fehler des gesamten Elements，was in der Praxis entscheidend ist. Der Durchlichttest ergänzt damit den Oberflächentest der Asphäre.在此，我们将在Durchlicht vorgeschlagen中进行一次校准，这是一个由衍射元件组成的干涉仪的预算，而由衍射元件组成的衬底将得到一个完整的校准。在Sinne中的dazu是一个Mehrstellungstests benötigten Messpositionen sollen unter anderem mit Hilfe eines Mehr-Wellenfronten-DOE ermöglicht韦尔登。