Absolutverfahren zur Messung rotationssymmetrischer asphärischer Linsen im Durchlicht

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Prüfverfahren für Asphären werden gewöhnlich mit Hilfe von diffraktiven Normalelementen durchgeführt. Diese Techniken erfordern jedoch zunehmend Kalibrierverfahren, um die systematischen Fehler des Interferometers, und insbesondere die des diffraktiven Elements, zu beseitigen. Obwohl die Auflichtprüfung nach wie vor das bevorzugte Instrument der Asphärenprüfung ist, besitzt die Durchlichtprüfung eine Reihe von Vorteilen. Der wichtigste Vorzug - neben der Reduktion störender Beugungsordnungen und der im diffraktiven Element benötigten Raumfrequenzen - besteht dabei in der Verringerung von Streulicht, da Störreflexe der Einzelflächen innerhalb des Aufbaus nicht im Interferogramm erscheinen. Außerdem ist die Durchlichtprüfung nicht nur für die Fehler der asphärischen Oberfläche einer asphärischen Linse sensitiv, sondern liefert die Fehler des gesamten Elements, was in der Praxis entscheidend ist. Der Durchlichttest ergänzt damit den Oberflächentest der Asphäre. Hier wird nun ein Kalibrierverfahren im Durchlicht vorgeschlagen, das die Einzelbeiträge des Fehlerbudgets - Interferometerfehler ohne diffraktives Element, Substrat- sowie Strukturierungsfehler des diffraktiven Elements - getrennt voneinander ermittelt. Die dazu im Sinne eines Mehrstellungstests benötigten Messpositionen sollen unter anderem mit Hilfe eines Mehr-Wellenfronten-DOE ermöglicht werden.