Absolutverfahren zur Messung von rotationssymmetrischen Asphären in einem Twyman-Green-Interferometer mittels Zwei-Wellenfront-Hologrammen unter Verwendung einer neurartigen Radialshear-Position

使用新型径向听力位置的两波前全息图测量 Twyman-Green 干涉仪中旋转对称非球面的绝对方法

• 批准号: 30389411
• 负责人: Professor Dr. Norbert Lindlein
• 金额: --
• 依托单位: Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2006-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/30389411?language=en
• 关键词: Absolutverfahren; zur; Messung; von; rotationssymmetrischen

Asphärische Linsen finden in der industriellen Praxis umfangreiche und vielseitige Anwendungen. Allerdings müssen Absolutverfahren entwickelt werden, die es erlauben, die Oberflächenabweichungen des Prüflings von den systematischen Wellenaberrationen des Interferometers zu trennen, wenn man z. B. den gesteigerten Genauigkeitsanforderungen der Lithographie-Optiken gerecht werden will. Dies ist ein bisher weitgehend ungelöstes Problem, so daß es einen dringenden Bedarf zur Erforschung solcher Absolutverfahren gibt. Hier wird vorgeschlagen, zum einen das bereits bekannte Rotationsmittelungsverfahren durch Hinzunahme einer neuartigen Radialshear-Position zu vervollständigen, und zum anderen diese Position zur Bestimmung der Differenzenquotienten der Prüflingsabweichungen längs orthogonaler Richtungen zu verwenden. Beide Verfahren beruhen sowohl auf Differenzmessungen, als auch auf speziellen Bewegungen des Prüflings relativ zum Interferometer. Die Verwendung eines Zwei-Wellenfronten-DOE mit sehr ähnlichen Wellenfronten macht dabei eine spezielle mechanische Streifenmaske als Blende erforderlich. Damit stehen zwei Absolutverfahren zur Verfügung, deren Vergleich untereinander bzw. mit bereits existierenden Verfahren Aufschluß über die tatsächlich erreichten Absolutgenauigkeiten gibt.

ASPHäRische Linsen在工业实践中找到了Anwendungen。所有的信息都是这样的：所有的信息都是这样的：从系统的角度看，从系统的角度来看，这是一件非常重要的事情。这是一个很难解决的问题，所以我们必须解决这个问题。在这一过程中，我们看到的是两种不同的位置，一种是剪切式的，另一种是横切式的，另一种是横切式的，不同的是L式的。在此基础上，提出了一种新的干涉方法。这是一种特殊的机械结构，它是一种特殊的结构。他说：“这是一件很重要的事情，因为这件事并不存在。”