Absolutverfahren zur Messung von rotationssymmetrischen Asphären in einem Twyman-Green-Interferometer mittels Zwei-Wellenfront-Hologrammen unter Verwendung einer neurartigen Radialshear-Position

使用新型径向听力位置的两波前全息图测量 Twyman-Green 干涉仪中旋转对称非球面的绝对方法

基本信息

批准号：
30389411
负责人：
Professor Dr. Norbert Lindlein
金额：
--
依托单位：
Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2007
资助国家：
德国
起止时间：
2006-12-31 至 2009-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/30389411?language=en
关键词：
Absolutverfahren zur Messung von rotationssymmetrischen

项目摘要

Asphärische Linsen finden in der industriellen Praxis umfangreiche und vielseitige Anwendungen. Allerdings müssen Absolutverfahren entwickelt werden, die es erlauben, die Oberflächenabweichungen des Prüflings von den systematischen Wellenaberrationen des Interferometers zu trennen, wenn man z. B. den gesteigerten Genauigkeitsanforderungen der Lithographie-Optiken gerecht werden will. Dies ist ein bisher weitgehend ungelöstes Problem, so daß es einen dringenden Bedarf zur Erforschung solcher Absolutverfahren gibt. Hier wird vorgeschlagen, zum einen das bereits bekannte Rotationsmittelungsverfahren durch Hinzunahme einer neuartigen Radialshear-Position zu vervollständigen, und zum anderen diese Position zur Bestimmung der Differenzenquotienten der Prüflingsabweichungen längs orthogonaler Richtungen zu verwenden. Beide Verfahren beruhen sowohl auf Differenzmessungen, als auch auf speziellen Bewegungen des Prüflings relativ zum Interferometer. Die Verwendung eines Zwei-Wellenfronten-DOE mit sehr ähnlichen Wellenfronten macht dabei eine spezielle mechanische Streifenmaske als Blende erforderlich. Damit stehen zwei Absolutverfahren zur Verfügung, deren Vergleich untereinander bzw. mit bereits existierenden Verfahren Aufschluß über die tatsächlich erreichten Absolutgenauigkeiten gibt.

在一生中，正在举行变态，世界是一个绝佳的死亡机会，我们生活在干扰世界中。 B.我们是干涉期的好候选人。 ungelöstes问题，因此，daßeseinendringenden bedarf zur erforschung solcher absolutverfahren gibt。 Hier Wird Vorgeschlagen，Zum Einen das bereits bekannte rotationsmittelungsverfahren durch hinzunahme einer einer neuartigen radialshearshear-shear-shear-shear-sosition zuvervollständigen Richtungen Zu Verwenden。 Beide verfahren beruhen sowohl auf dieldenzmessungen，als auch auch auf speziellen bewegungendesprüflingsrelativ zum zum干涉仪。 Die Verwendung Eines Zwei-Wellenfronten-Doe Mit Sehrähnlichenwellenfronten Macht dabei eine spezielle negricische streifenmaske als blende blende erforderlich。 Damit Stehen Zwei Absolutverfahren ZurVerfügung，Deren Vergleich Untereinander BZW。麻省理工学院的存在是Aufschluß和Absolutgenauigkeiten的主要因素。