FIB/REM-System (Focussed Ion Beam kombiniert mit Rasterelektronenmikroskop)

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„Bisher gibt es an der Universität Siegen kein vergleichbares System. Die überaus vielfältigen Einsatzmöglichkeiten des beantragten Gerätes spiegeln sich anhand des breit aufgestellten Nutzerkreises wider, der sich von Werkstoff- und Nanotechnologie über physikalische Chemie und Festkörperphysik bis hin zur Höchstfrequenztechnik und Quantenelektronik erstreckt. Alle Fachgebiete könnten erheblich von der Beschaffung einer FIB-Anlage profitieren, wodurch die Forschung in diesen Bereichen bedeutend gestärkt und konkurrenzfähig bleiben würde. Im einzelnen liegen die Anwendungsschwerpunkte für die Werkstofftechnik bei der 3D-Analytik (EBSD und EDX) metallischer Proben oder Schichtsysteme, der zielgerichteten Entnahme von TEM-Proben, des Micromachining von Spitzen (Nanoindenter, AFM) sowie der elektronischen Kontaktierung von Nanostrukturen. In den Bereichen Höchstfrequenztechnik und Festkörperphysik würden vorwiegend die Strukturierungs- und Micromachiningmöglichkeiten des FIB-Systems zur Nanostrukturierung von Kompositen, zum Erzeugen von 3D-Nahfeldsonden sowie zum gezielten Dotieren von Halbleiterstrukturen genutzt werden. Das Fachgebiet Bau- und Werkstoffchemie würde vor allem von den analytischen Möglichkeiten einer FIB-Anlage Gebrauch machen, um komplexe Untersuchungen von Strukturen, Gefügen und Prozessen moderner Bauwerkstoffe (Hochleistungsbeton) zu realisieren.“