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FIB/REM-System (Focussed Ion Beam kombiniert mit Rasterelektronenmikroskop)

FIB/REM系统（聚焦离子束结合扫描电子显微镜）

基本信息

批准号：
121448065
负责人：
金额：
--
依托单位：
Universität Siegen
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2009
资助国家：
德国
起止时间：
2008-12-31 至无数据
项目状态：
未结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/121448065?language=en
关键词：
FIB REM System Focussed Ion

项目摘要

„Bisher gibt es an der Universität Siegen kein vergleichbares System. Die überaus vielfältigen Einsatzmöglichkeiten des beantragten Gerätes spiegeln sich anhand des breit aufgestellten Nutzerkreises wider, der sich von Werkstoff- und Nanotechnologie über physikalische Chemie und Festkörperphysik bis hin zur Höchstfrequenztechnik und Quantenelektronik erstreckt. Alle Fachgebiete könnten erheblich von der Beschaffung einer FIB-Anlage profitieren, wodurch die Forschung in diesen Bereichen bedeutend gestärkt und konkurrenzfähig bleiben würde. Im einzelnen liegen die Anwendungsschwerpunkte für die Werkstofftechnik bei der 3D-Analytik (EBSD und EDX) metallischer Proben oder Schichtsysteme, der zielgerichteten Entnahme von TEM-Proben, des Micromachining von Spitzen (Nanoindenter, AFM) sowie der elektronischen Kontaktierung von Nanostrukturen. In den Bereichen Höchstfrequenztechnik und Festkörperphysik würden vorwiegend die Strukturierungs- und Micromachiningmöglichkeiten des FIB-Systems zur Nanostrukturierung von Kompositen, zum Erzeugen von 3D-Nahfeldsonden sowie zum gezielten Dotieren von Halbleiterstrukturen genutzt werden. Das Fachgebiet Bau- und Werkstoffchemie würde vor allem von den analytischen Möglichkeiten einer FIB-Anlage Gebrauch machen, um komplexe Untersuchungen von Strukturen, Gefügen und Prozessen moderner Bauwerkstoffe (Hochleistungsbeton) zu realisieren.“

“Bisher gibt es an der Universität Siegen kein vergleichbares System. Die überaus vielfältigen Einsatzmöglichkeiten des beantragten Gerätes spiegeln sich anhand des breit aufgestellten Nutzerkreiseswide, der sich von Werkstoff- und Nanotechnologie über物理的化学和物理物理学是高频率技术和量子电子技术的发展。所有 Fachgebiete könnten erheblich von der Beschaffung einer FIB-Anlageprofitieren，wodurch die Forschung in diesen Bedeutend gestärkt 和 konkurrenzfähig 布莱本·乌尔德。 Im einzelnen liegen die Anwendungsschwerpunkte für die Werkstofftechnik bei der 3D-Analytik (EBSD und EDX) metallischer Proben oder Schichtsysteme, der zielgerichteten Entnahme von TEM-Proben, des Micromachining von Spitzen (Nanoindenter, AFM) 是纳米结构电子控制技术的重要组成部分。在复合纳米结构和 FIB 系统的结构和微机械加工方面的高频率技术和物理性能研究 3D-Nahfeldsonden 的安装是由 Halbleiterstrukturen genutzt werden 完成的。 Das Fachgebiet Bau- und Werkstoffchemie würde vor allem von den analytischen Möglichkeiten einer FIB-Anlage Gebrauch machen, um komplexe Untersuchungen von Strukturen、Gefügen und Prozessen 现代 Bauwerkstoffe (Hochleistungsbeton) zu realisieren。“