Vertical Gradient Freeze-Züchtung ohne Tiegelkontakt

无坩埚接触的垂直梯度冷冻培养

• 批准号: 15765393
• 负责人: Dr. Olf Pätzold
• 金额: --
• 依托单位: Institut für NE-Metallurgie und Reinststoffe
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2008-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/15765393?language=en
• 关键词: Vertical; Gradient; Freeze; chtung; ohne

Das Ziel des Forschungsprojektes besteht in der wissenschaftlichen Untersuchung des Vertical Gradient Freeze- (VGF-) Verfahrens ohne Tiegelkontakt. Vertiefte Kenntnisse über diese nachfolgend auch als ¿detached VGF¿ (dVGF) bezeichnete Züchtungsmethode sind vor allem für die Herstellung von Halbleiter-Einkristallen von Bedeutung, weil sich dadurch interessante Perspektiven zur Erhöhung der Kristallqualität und -ausbeute ergeben. Das Vorhaben beinhaltet grundlegende Untersuchungen zur Verringerung bzw. Vermeidung des Tiegelkontaktes im Bereich der Phasengrenze fest-flüssig und zur Stabilität des Meniskus im Prozessverlauf. Dafür soll eine modifizierte dVGF-Variante mit separater Dampfdruckquelle verwendet werden, wodurch die exakte Kontrolle des Gasdrucks im System sowie die Beeinflussung der Dotierstoffkonzentration und/oder der Schmelzstöchiometrie möglich ist. Ein weiterer Forschungsschwerpunkt ist die Aufklärung des Einflusses von Verunreinigungen auf die Ablösung der Schmelze von Tiegel, um zu einem grundsätzlichen Verständnis der Meniskusbildung im Bereich der Phasengrenze zu gelangen. Für die Untersuchungen werden u.a. Magnetfelder eingesetzt mit denen die Strömung und damit der Stofftransport in der Schmelze gezielt beeinflusst werden kann. Die Schwerpunkte des Arbeitsprogramms umfassen die Bestimmung des Kontaktwinkels zwischen verschiedenen Halbleiterschmelzen und Tiegelmaterialien in Abhängigkeit von der umgebenden Gasphase und von der Oberflächenbeschaffenheit der Tiegel, die globale Modellierung des dVGF-Prozesses zur Ermittlung der optimalen thermischen und geometrischen Parameter sowie die Durchführung von systematischen Züchtungsexperimenten einschließlich der metallografischen und elektrischen Charakterisierung der Kristalle.

垂直梯度冻结(VGF-)垂直垂直梯度冻结(VGF-)垂直梯度冻结。从德国和哈尔布利特分离的VGF(DVGF)是一种新的方法和方法，这些方法包括以下几个方面：Vorhaben BZW.Vermeidung des Tiegelkontaktes im Bereich der Phasengenze fest-flüssig and zur稳定ität des Meniskus im Prozessverlaf.Dafür soll eine Modifizierte dVGF-Variante MIT分离器Dampfdruckquelle verwendet den，wodurch die deexexte de Kontrolle des Gasdrucks im system Sowie die Beeflusung der Dotierstoffkonzentation and/der Order Schmelzstöchistre möglich ist.这是一件很重要的事情，因为这是一件很重要的事情。在德国施梅尔兹公司的运输中，磁力设备和货物的运输是不可能的。在ABHänGigkeit von der umgebenden气相和von der OberflächenBeschaffenheit der Tiegel，de Globale Modellierung des dVGF-Prozess zur Ermittlung der Prozess zur Ermittlung der Prozess zur Ermittlung Do Kontaktwinkels zon Kontakchen and geschiedenen参数Sowie die Durchführung von Systatischen ZüchtungsExamenten einschlieélich Grafichen Grafchen and elektrischen Charakterisierder Kristalle中，所有的参数都是系统的。