CAREER: Fundamental Investigations of Atmospheric-Pressure Glow Discharges

职业:大气压辉光放电的基础研究

基本信息

  • 批准号:
    0221557
  • 负责人:
  • 金额:
    --
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    美国
  • 项目类别:
    Continuing Grant
  • 财政年份:
    2002
  • 资助国家:
    美国
  • 起止时间:
    2002-03-01 至 2007-02-28
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

The objective of this effort is to provide a rigorous understanding of atmospheric-pressure glow discharges (APGD). This new class of plasmas can produce large amounts of active chemical species near room temperature and atmospheric pressure and has potential to revolutionize plasma-based processing technologies. The research activities have the following components: (1) a computationally fast, one-dimensional physical model for prediction of APGD axial structure; (2) a two-dimensional model for investigating bulk flow/plasma dynamics interactions; (3) analysis of the electron energy distribution function using a homogeneous, time-dependent electron Boltzman solver; (4) a bench-scale APGD experiment to assist in model validation and to explore the discharge phenomena, including visual characterization of discharge modes to establish stability boundaries as a function of discharge geometry and operating parameters, and electrical characterization of the discharge; and (5) investigation of a novel APGD-based silicon oxidation process with potential application in ultrathin integrated circuit gate-oxide formation.
这项工作的目的是提供一个严格的理解大气压辉光放电(APGD)。 这类新的等离子体可以在室温和大气压附近产生大量的活性化学物质,并有可能彻底改变基于等离子体的处理技术。 研究活动有以下组成部分:(1)用于预测APGD轴向结构的计算快速的一维物理模型;(2)用于研究整体流/等离子体动力学相互作用的二维模型;(3)使用均匀的、随时间变化的电子Boltzman解算器分析电子能量分布函数;(4)实验室规模的APGD实验,以协助模型验证和探索放电现象,包括放电模式的视觉表征,以建立作为放电几何形状和操作参数的函数的稳定性边界,以及放电的电气表征;(5)研究了一种新的基于APGD的硅氧化工艺,该工艺可能应用于SOI集成电路栅氧化层的形成。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

Laxminarayan Raja其他文献

Laxminarayan Raja的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('Laxminarayan Raja', 18)}}的其他基金

Student Travel Support to Attend the 2012 Gaseous Electronics Conference. Conference to be held Oct 22-26, 2012 in Austin, TX
为学生参加 2012 年气体电子会议提供差旅支持。
  • 批准号:
    1245175
  • 财政年份:
    2012
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
STUDENT SUPPORT FOR THE GEC 2009: Oct 20-23, Saratoga Springs, NY
2009 年 GEC 学生支持:10 月 20 日至 23 日,纽约州萨拉托加斯普林斯
  • 批准号:
    0946014
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
Collaborative Research: A Diagnostic and Modeling Investigation of Pulsed PECVD
合作研究:脉冲 PECVD 的诊断和建模研究
  • 批准号:
    0829003
  • 财政年份:
    2008
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
SGER: Exploratory studies of atmospheric-pressure glow plasma processing of bio-degradable polymer microparticles
SGER:大气压辉光等离子体处理生物可降解聚合物微粒的探索性研究
  • 批准号:
    0511817
  • 财政年份:
    2005
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
CAREER: Fundamental Investigations of Atmospheric-Pressure Glow Discharges
职业:大气压辉光放电的基础研究
  • 批准号:
    0093998
  • 财政年份:
    2001
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Continuing Grant

相似海外基金

CAS: Cu, Fe, and Ni Pincer Complexes: A Platform for Fundamental Mechanistic Investigations and Reaction Discovery
CAS:Cu、Fe 和 Ni 钳配合物:基础机理研究和反应发现的平台
  • 批准号:
    2349827
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Continuing Grant
CAS: Fundamental Experimental-Theoretical Investigations of New Metal Alloy Nanocatalysts for Natural Gas Repurposing
CAS:用于天然气再利用的新型金属合金纳米催化剂的基础实验理论研究
  • 批准号:
    2109120
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Continuing Grant
From Fundamental Investigations to Catalysis: New Motifs in Main Group and Transition Metal Complexes
从基础研究到催化:主族和过渡金属配合物的新基序
  • 批准号:
    RGPIN-2019-07235
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Plasmas in- and in-contact with liquids: fundamental investigations and applications in nanomaterial synthesis and liquid processing
与液体接触的等离子体:纳米材料合成和液体加工的基础研究和应用
  • 批准号:
    RGPIN-2018-04869
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Plasmas in- and in-contact with liquids: fundamental investigations and applications in nanomaterial synthesis and liquid processing
与液体接触的等离子体:纳米材料合成和液体加工的基础研究和应用
  • 批准号:
    RGPIN-2018-04869
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
From Fundamental Investigations to Catalysis: New Motifs in Main Group and Transition Metal Complexes
从基础研究到催化:主族和过渡金属配合物的新基序
  • 批准号:
    RGPIN-2019-07235
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Fundamental Investigations into the Metal-Organic Framework Redox-Hopping Charge Transport
金属有机框架氧化还原跳跃电荷传输的基础研究
  • 批准号:
    2109934
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
Fundamental investigations on the effect of structured functional surfaces of milling tools regarding process dynamics
铣削刀具结构化功能表面对工艺动力学影响的基础研究
  • 批准号:
    426468684
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
From Fundamental Investigations to Catalysis: New Motifs in Main Group and Transition Metal Complexes
从基础研究到催化:主族和过渡金属配合物的新基序
  • 批准号:
    RGPIN-2019-07235
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Fundamental Investigations in Femtosecond Laser-based Additive Manufacturing with Functional Nanomaterials
功能纳米材料飞秒激光增材制造的基础研究
  • 批准号:
    2054104
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了