In situ-Charakterisierung von Schädigungsvorgängen und Fertigungsprozessen im hochauflösenden Großkammer-Rasterelektronenmikroskop (GK-REM): Erweiterung des Funktionsumfangs und der Betriebszuverlässigkeit

使用高分辨率大室扫描电子显微镜 (GK-SEM) 对损伤过程和制造过程进行原位表征:扩展功能范围和操作可靠性

基本信息

项目摘要

Seit September 2006 betreiben die Antragsteller am Zentralinstitut für Neue Materialien und Prozesstechnik (ZMP) der Universität Eriangen-Nümberg ein hochauflösendes GK-REM mit integrierbarer servohydraulischer Prüfmaschine. Damit vereint dieses Mikroskop geradezu in idealer Weise die Möglichkeiten der mikrostrukturellen Charakterisieung mit der mechanischen Prüfung. Durch die große Vakuumkammer ist es möglich, große Bauteile und Prüfkörper zu implementieren bzw. andere Prüfverfahren, wie z. B. tribologische Testeinrichtungen aufzubauen. Durch diese in-situ Prüfung können neue Erkenntnisse bezüglich Verformungsverhalten und Schädigungsmechanismen von Werkstoffen gewonnen werden und so die Grundlagen für eine modeme mechanismenbasierte Werksloffentwicklung gelegt werden.Aufgrund der bisherigen Erfahrungen sind diverse Neuerungen, Modifikationen und Erweiterungen nötig, um das ursprünglich angestrebte Leistungsvermögen und die Ausnutzung des außergewöhnlichen Potentials dieses Gerätes dauerhaft nutzbar machen zu können. Aus dem Kreis der Betreiber der Geräte hat sich ferner eine Arbeitsgemeinschaft gebildet mit dem Ziel, die Betriebsfähigkeit der GK-REM herzustellen bzw. zu erhalten und den Wissenstransfer innerhalb der Arbeitsgemeinschaft zu gewährleisten.“
SEIT 2006年9月,Betreiben Die Antragsteller AmZentralInstitutFürNeueMetitalien和Prozesstechnik(ZMP)derUniversitätriestäteriangengen-NümbergEinhochauflösendesGk-Rem Mit Mit Mit Mit IntegrierBarerBarerServohydraulischerprüffoufumfumfumaschine。 DAMIT VEREINT在理想者Weise DieMöglichkeitender Mikrostrukturellen Charakterisieung Mit Mit der MechanischenPrüfung中死亡Mikroskop Geradezu。 B. Tribology Durch DieGroße是世界的证词。 B.摩擦学是世界的证词。 B.摩擦学是世界的证词。 Verformungs Verhallentundschädigungsmechanismen,它是Werkstoffen的函数,而Grundlagen是Werksloffentwicklung的函数。 aufgrund neuerrungen的多样性,Erwagen的修改,Leistungs和Dies Dies Gk-Rem Herzustellen BZW的潜力。 WissensTransfer是内部der arbeitsgemeinschaft。 “

项目成果

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