Digitales, höchstauflösendes FEG-Rasterelektronenmikroskop mit Focused Ion Beam Zusatz und Gas Injection System

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"Untersuchung von halbleitenden Materialien aus der Photovoltaik hinsichtlich Struktur, Defekten und Defektverteilungen; Untersuchungen von Halbleitermaterialien und ihre Grenzflächen, Analysen innerhalb der Mikro- und Nanoelektronik; Analyse von Schichtsystemen; Charakterisierung von Materialien für Halbleiterspeicher; Untersuchungen an Materialien für charge trapping Speicher und schaltbaren anorganischen und organischen Materialien; Untersuchungen innerhalb der Siliziumchemie• Materialien für chemische Sensoren wie z.B. Speicherelemente auf der Grundlage von Oxidmaterialen und Feldeffekttransistoren• Untersuchungen von transparenten leitfähigen Kontakten (ZnO) und Passivierungsdünnfilmen (Al2O3)• Adsorptionsphänomene an Oberflächen und in mikroporösen Strukturen, Analysen zur industriellen Biokatalyse• Charakterisierung keramischer Pulver und Beschichtungen auf Basis von Übergangsmetall-oxiden, -oxynitriden, -oxycarbiden• 3D-Zielpräparation und lokale Charakterisierung"