Lokale elektroneninduzierte Oxidation von dünnen Schichten aus amorphem Kohlenstoff

《自然之视界》（the Vielgestaltigkeit der nature spiegelt sich in den vielfältigen erscheinings - and Bindungsformen wider），《自然之视界》（the Element Kohlenstoff begegnet）。“纳米物理学与技术”与“纳米物理学与技术”与“纳米物理学与技术”与“纳米物理学与技术”与“纳米物理学与技术”与“纳米物理学与技术”与“纳米物理学与技术”与“纳米物理学与技术”与“纳米物理学与技术”与“自然科学与技术”与“自然科学与技术”Während mit Kohlenstoffmodifikationen wie beispielsweise Nanoröhren gegenwärtig sehr intensiv gearbeitet wnd, spielen d<e:1> nne Schichten aus Kohlenstoff bisher nur eine Nebenrolle。Sie werden beispielsweise als Schutzschichten eingesetzt。Seit einigen Jahren ist bekant， dass Kohlenstoffschichten durch Elektronenbeschuss unter sauerstoffhaltiger Atmosphäre局部氧化剂werden können。[1][大北][j]。Diese Nanostrukturen lassen, mit technology chen Verfahren wie Ionenätzen in andere Materialien <e:1> bertragen。Die Kohlenstoff-Nanostrukturierung lässt sich也与Verfahren ausf<e:1> hren平行；dadurch bekommt dieses Verfahren eine große technologische relevance。2 .电子工业氧化机制的研究与发展：电子工业氧化机制的研究与发展。

Die Vielgestaltigkeit der Natur spiegelt sich anschaulich in den vielfältigen Erscheinungs- und Bindungsformen wider, in denen uns das Element Kohlenstoff begegnet. In der nanoskopischen Physik und Technologie wird dem Kohlenstoff erst nach und nach die Aufmerksamkeit zuteil, die seiner Bedeutung in der Natur entspricht. Während mit Kohlenstoffmodifikationen wie beispielsweise Nanoröhren gegenwärtig sehr intensiv gearbeitet wird, spielen dünne Schichten aus Kohlenstoff bisher nur eine Nebenrolle. Sie werden beispielsweise als Schutzschichten eingesetzt. Seit einigen Jahren ist bekannt, dass Kohlenstoffschichten durch Elektronenbeschuss unter sauerstoffhaltiger Atmosphäre lokal oxidiert werden können. Dabei entstehen Vertiefungen von komplexer Geometrie im Nanometermaßstab. Diese Nanostrukturen lassen sich mit technologischen Verfahren wie Ionenätzen in andere Materialien übertragen. Die Kohlenstoff-Nanostrukturierung lässt sich als paralleles Verfahren ausführen; dadurch bekommt dieses Verfahren eine große technologische Relevanz. Die mit dem vorliegenden Projektvorhaben geplanten Arbeiten sollen helfen, den bisher weitgehend unverstandenen mikroskopischen Mechanismus der elektroneninduzierten Kohlenstoffoxidation zu erhellen.