Multispektrales abbildendes Ellipsometer mit integriertem Rasterkraftmikroskop

Duüberwiegende Forschungsanteil是一种新型的等离子技术，--激光-等离子--混合技术，更高的技术含量，更高的技术含量。Grundsätzlich das Groätgerät der Untersusuung Sowie der Aufklärung von WechselwirkungsmMachisages unterschiedlicher Atmosphärendruckplmen，Sowie von激光-等离子-Hybriprozessen MIT Festkörpern(Z.B.Gläsern，Keramiken，Metallen，Halbleitern)。在此基础上，提出了一种新的技术经济分析方法这是一种新的技术和技术，它可以用来分析和分析椭圆曲线，从整体上看，这是一种新的技术和技术。

Der überwiegende Forschungsanteil ist auf die Plasma,- sowie die Laser-Plasma-Hybridtechnologie, hier im speziellen Oberflächenmodifikationen, ausgerichtet. Grundsätzlich dient das Großgerät der Untersuchung sowie der Aufklärung von Wechselwirkungsmechanismen unterschiedlicher Atmosphärendruckplasmen, sowie von Laser-Plasma-Hybridprozessen mit Festkörpern (z.B. Gläsern, Keramiken, Metallen, Halbleitern). Ein entscheidendes Kriterium für die Auswahl der Ellipsometrie als Analyseverfahren für plasmamodifizierte Oberflächen ist, dass das Messprinzip die berührungslose optische Bestimmung von Materialeigenschaften an Grenzflächen, Oberflächen sowie von Schichtsystemen mit einer Dickenauflösung im nm-Bereich unter Normaldruck erlaubt. Vorteilhaft wirkt sich hierbei aus, dass der Analysebereich der Ellipsometrie, sowie des integrierten Rasterkraftmikroskops und die Wechselwirkungsbereiche von Atmosphärendruckplasmen mit Materialoberflächen (einige 10 nm in die Oberfläche hinein) nahezu identisch sind.