極薄バリヤの構造解析における革新的解明とCu配線の配向制御
極薄バリヤの構造解析における革新的解明とCu配線の配向制御
超薄势垒结构分析和铜互连取向控制的创新阐释
批准号：
21K04150
负责人：
武山 眞弓
金额：
$2.66万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2021
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-04-01 至 2024-03-31
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