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極薄バリヤの構造解析における革新的解明とCu配線の配向制御
超薄势垒结构分析和铜互连取向控制的创新阐释
基本信息
- 批准号：21K04150
- 负责人：
- 金额：$ 2.66万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2021
- 资助国家：日本
- 起止时间：2021-04-01 至 2024-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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