分子上コンタミネーション薄膜形状がもたらす光学特性発現有無の解明

阐明分子污染薄膜形状带来的光学特性

• 批准号: 21K04489
• 负责人: 土屋 佑太
• 金额: $ 2万
• 依托单位: Japan Aerospace EXploration Agency
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2021
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2021-04-01 至 2024-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21K04489/
• 关键词: コンタミネーション; CMOSセンサ; 透過率; 反射率; 散乱; 汚染; 形状; QCM

宇宙の真空環境では、衛星に使用される接着剤などの材料内部からガスが発生し、発生したガスが衛星自身の温度が低い光学部品などに付着することで、光透過率等の光学特性が劣化する現象が知られている。本現象を分子状コンタミネーションと呼ぶ。宇宙機器に発生するコンタミネーションの予測・管理には、これまで薄膜厚を指標・基準として議論されてきたが、ミクロンメートルの薄膜厚を真空低温下で測定することは一般的に難しいことから、薄膜密度を”1g/cm3”と仮定して付着したコンタミネーション質量の実測値から薄膜厚を算出している。しかし薄膜密度が1g/cm3かどうかは実測されたことがなく、コンタミネーション予測・管理技術の大きな誤差要因となっている可能性がある。宇宙機器の開発にとって、誤差による過大な予測・管理技術はコストに直結するため、本研究はコンタミネーション薄膜の密度を初めて実測することで薄膜密度を解明し、ひいては宇宙機器開発のコスト削減やコンタミネーションの発生予防に貢献することを目指すものである。2022年度は2021年度までに確立した真空低温下で発生するコンタミネーション薄膜形状の変化をリアルタイムに観察する実験手法と、取得画像から薄膜形状の直径と被覆率を求める画像処理方法を用いて、薄膜の密度を求めるための実験・測定条件を考察した。考察の結果、取得画像から薄膜密度を求めるための測定条件の肝となる照明光 (光源) の入射角とコンタミネーション薄膜高さの関係を導いた。結果、形成される薄膜高さにもよるが、概ね光源入射角度を10~60°に設定すると良い条件で薄膜密度が求められることが判明した。分子状コンタミネーションの薄膜密度は、実際の真空低温下で実測した例がなく、世界初の測定例につながる成果が得られた。

In the vacuum environment of the universe, the use of satellite equipment, and then the use of equipment in the vacuum environment of the universe, the use of the satellite in the vacuum environment, the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment of the universe and the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment of the universe and the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment of the universe and the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment and the use of the satellite in the vacuum environment and the satellite. This instrument is like a molecule, which is called in molecular form. The cosmic machine is used to measure the thickness of thin films in the vacuum at low temperature. The density of the thin film is determined by measuring the thickness of the thin film to calculate the thickness of the film. To determine the density of thin films, the density of thin films, the density of thin films, The cosmic machine is very sensitive to the management technology system. In this study, the density of the thin film is the first step to understand the density of the thin film. The purpose of this study is to understand the density of the film. In 2022, the year 2021 made sure that the film was born in vacuum and low temperature. The film shape was changed, the film shape was examined, the film shape diameter was obtained, the coverage rate was calculated, the portrait method was used, the film density was calculated, the test conditions were investigated. According to the results of the investigation, the conditions for the determination of the density of the portrait, the density of the film, the light source, the incident angle and the height of the film were obtained. The results show that the formation of the thin film, the setting of the incident angle of the light source at the angle of 10 °60 °, and the density of the thin film. The molecular density of thin film, the density of thin film, the density of thin film, the

项目成果

分子状コンタミネーション薄膜の密度解明に向けた検討

分子污染薄膜密度的阐明研究

• 发表时间: 2022
• 作者: 岡田孝雄;小笠原俊夫;宮木博光;神山晋太郎;土屋佑太
• 通讯作者: 土屋佑太

分子状コンタミネーション薄膜形状の光学特性解明に向けた検討

分子污染薄膜形状光学性质阐明的研究

• 发表时间: 2021
• 作者: 小澤宇志;松山新吾;山田和彦;鈴木俊之;藤田和央;土屋佑太
• 通讯作者: 土屋佑太