Low dislocation AlN growth by super high temperature MOVPE in jet engine model

喷气发动机模型中超高温 MOVPE 低位错 AlN 生长

• 批准号: 20K21006
• 负责人: NAGAMATSU Kentaro
• 金额: $ 4.16万
• 依托单位: The University of Tokushima
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
• 财政年份: 2020
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2020-07-30 至 2023-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20K21006/
• 关键词: 窒化物半導体; 高温結晶成長; 窒化アルミニウム; 深紫外LED

项目成果

低温AlNバッファ層上高温AlN初期成長

低温AlN缓冲层上高温AlN的初始生长

• 发表时间: 2021
• 作者: 青野零弥;津田翔太;揚田侑哉;宮川学;平山秀樹;髙島祐介;直井美貴;永松謙太郎
• 通讯作者: 永松謙太郎

AlNテンプレート上高温AlN結晶成長

AlN 模板上的高温 AlN 晶体生长

• 发表时间: 2021
• 作者: 津田翔太;青野零弥;揚田侑哉;宮川学;平山秀樹;髙島祐介;直井美貴;永松謙太郎
• 通讯作者: 永松謙太郎

Dependence of c-plane sapphire misorientation angle in high temperature AlN growth and specific step bunching at large angle

高温AlN生长中c面蓝宝石取向差角的依赖性和大角度特定台阶聚束

• 发表时间: 2022
• 作者: Takumi Miyagawa;Atsushi Tomita;Shota Tsuda;Hideki Hirayama;Yuusuke Takashima;Yoshiki Naoi and Kentaro Nagamatsu
• 通讯作者: Yoshiki Naoi and Kentaro Nagamatsu

高温有機金属気相成長法におけるAlNの特異的なステップバンチング

高温有机金属气相外延中 AlN 的特定步骤聚束

• 发表时间: 2022
• 作者: 宮川 拓己;津田 翔太;富田 敦之;平山 秀樹;髙島 祐介;直井 美貴;永松 謙太郎
• 通讯作者: 永松 謙太郎

低オフ角サファイア基板を用いた高温AlN成長におけるV/III比依存性

使用低偏角蓝宝石衬底进行高温 AlN 生长的 V/III 比率依赖性

• 发表时间: 2022
• 作者: 富田 敦之;津田 翔太;宮川 拓己;平山 秀樹;髙島 祐介;直井 美貴;永松 謙太郎
• 通讯作者: 永松 謙太郎