同時フィルタリングデュアル光コム非線形分光法によるトレーサブルな超精密角度計測

使用同时滤波双光梳非线性光谱进行可追溯的超精密角度测量

• 批准号: 21H01222
• 负责人: 松隈 啓
• 金额: $ 11.15万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2021
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2021-04-01 至 2024-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21H01222/
• 关键词: 光周波数コム; 角度計測; デュアルコム分光

本研究課題は，デュアルコム分光法を発展させ，角度計測に適用することで，光による角度計測の高度化を図ろうとするものである．2年目である2022年度は，2021年度に完成した2台の光周波数コムを用いてデュアルコム分光法を角度計測に適用した．特に，提案した同時フィルタリングデュアルコム非線形分光法の手法を学理的に構築した．(１）偏光を制御する必要があるため，偏光制御機構を設計・製作し，2台の光周波数コムの偏光を制御した．（２）オートコリメーションユニットを設計・製作し，光周波数コムをオートコリメーションユニットに導入した．（３）デュアルコムオートコリメーションに最適な2台の光周波数コムの周波数差を決定するために，試行錯誤して，周波数差を決定した．（４）オートコリメーションによる角度計測を実施した．その際，元々使用を予定していた，データ取得・解析手法では周波数分解能が足りないことが判明したため，新たにデータ取得する手法を考案し，解析手法を考案した．実験で得られたデータから，感度および分解能を評価した．（５）デュアルコムオートコリメーションの分解能を高めるために，提案する同時フィルタリング法の実証実験を行った．その結果，目論見通りに得られるレスポンススペクトルが先鋭化されることを確かめた．（６）本研究について，学理的にまとめ，2023年3月に開催された2023年度精密工学会春季大会学術講演会にて，成果発表を行った．

This research topic は, デ ュ ア ル コ ム spectrometry を 発 exhibition さ せ, Angle measuring に applicable す る こ と で, light に よ る Angle measuring の を empirically 図 ろ う と す る も の で あ る. 2 years で あ る は 2022, 2021 annual に し た two の light cycle for コ ム を with い て デ ュ ア ル コ ム spectrometry を Angle measuring に applicable し た. に, proposal し た simultaneously フ ィ ル タ リ ン グ デ ュ ア ル コ ム nonlinear spectrometry の gimmick を に theory to construct し た. (1) polarization を suppression す る necessary が あ る た め, polarization system royal institution を し design, manufacture, two の light cycle for コ ム の polarization を suppression し た. (2) オ ー ト コ リ メ ー シ ョ ン ユ ニ ッ ト を し design, manufacture, light cycle for コ ム を オ ー ト コ リ メ ー シ ョ ン ユ ニ ッ ト に import し た. (3) デ ュ ア ル コ ム オ ー ト コ リ メ ー シ ョ ン に optimum な two の light cycle for コ ム の cycle number of differential を decided す る た め に, pilot error し て, cycle number of differential を decided し た. (4) トコリメ トコリメ ショ ショ による による Angle measurement を application た. そ の interstate, yuan 々 use を designated し て い た, デ ー タ obtained analytical technique, で は cycle for foot can decompose が り な い こ と が.at し た た め, new た に デ ー タ obtain す し る gimmick を test case, analytic technique を test case し た. The experiment で obtained られたデ タ タ ら ら, and the sensitivity および decomposition energy を evaluation 価 た た. (5) デ ュ ア ル コ ム オ ー ト コ リ メ ー シ ョ ン の decomposition can を high め る た め に, proposal す る simultaneously フ ィ ル タ リ ン の グ method be card be 験 を line っ た. そ の results, see MuLun り に have ら れ る レ ス ポ ン ス ス ペ ク ト ル が first sharpen さ れ る こ と を か indeed め た. (6) This research に にて て て, academic にまとめ, March 2023 に held された2023 Spring Conference of the Precision Engineering Society academic lecture にて, results published を った.

项目成果

マイクロ光学素子の角度計測に関する研究

微光学元件角度测量研究

• 发表时间: 2021
• 作者: 木村 学;橋本 善孝;山口 飛鳥;池田 翔，松隈 啓，清水 裕樹，高 偉
• 通讯作者: 池田 翔，松隈 啓，清水 裕樹，高 偉

デュアルコム分光オートコリメーション による精密角度変位計測

使用双梳光谱自准直精确测量角位移

• 发表时间: 2023
• 作者: 丸茂 智貴;井上 遼;阪上隆英;彭安瑞，多田直哉，坂本惇司，上森武;北本侑大，Yuichi Otsuka;松隈 啓，池田 翔，佐藤 遼，高 偉
• 通讯作者: 松隈 啓，池田 翔，佐藤 遼，高 偉

Measurement of the angle of a small prism by a mode-locked femtosecond laser autocollimator

锁模飞秒激光自准直仪测量小棱镜角度

• 发表时间: 2021
• 作者: Kakeru Ikeda;Hiraku Matsukuma;Yuki Shimizu;Wei Gao
• 通讯作者: Wei Gao