マイクロ光学素子の角度計測に関する研究
マイクロ光学素子の角度計測に関する研究
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微光学元件角度测量研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池田 翔，松隈 啓，清水 裕樹，高 偉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木村 学;橋本 善孝;山口 飛鳥;池田 翔，松隈 啓，清水 裕樹，高 偉
减少高粘度物质应用过程中的系统剂量误差
DOI：
10.1016/s0007-8506(07)62057-5
发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
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作者：
G. Reinhart;J. Gartner
通讯作者：
J. Gartner
用于微孔尺寸测量的双探头振动扫描方法
DOI：
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发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
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作者：
T. Masuzawa;Beomjoon Kim;C. Bergaud;M. Fujino
通讯作者：
M. Fujino
使用涂有 PZT 薄膜的碳化钨微悬臂梁进行高纵横比微结构的轮廓测量
DOI：
10.1109/memsys.2000.838519
发表时间：
2000
期刊：
Proceedings IEEE Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.00CH36308)
影响因子：
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作者：
M. Yamamoto;I. Kanno;S. Aoki
通讯作者：
S. Aoki