質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測
質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測
超高精度、宽范围硅球测量质量标准溯源系统
批准号：
20H02040
负责人：
道畑 正岐
金额：
$11.4万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
中文摘要
翻译
本研究の最終目的は、直径94 mmから94 μmのシリコン単結晶球体の直径を10のマイナス6乗の不確かさで計測する技術の確立であり、その実現のため、本年度は球体屈折率の自律的補正法による屈折率測定手法の確立を目指し研究を行なった。屈折率について、波長分散と屈折率絶対値に分けて考え、その補正についての検討を行った。波長分散はWGMによって共振する光周波数の間隔が一定になることを利用し、その間隔のばらつきがすなわち屈折率の分散によるものであると仮定した上で、補正をおこの合う方法を提案した。また、絶対値については、離れた2つの角度モード番号（すなわち異なる波長）での屈折率の差を利用することで、保定する手法を提案した。結果として、波長分散は10の－6乗程度のオーダまで補正が可能であることが示唆された。また、屈折率の絶対値については、共振波長の測定精度が0.01 pm程度まで保証できるのであれば、直径数nmレベルの正確さで補正できることがわかった。
英文摘要
本研究の最終目的は、直径94 mmから94 μmのシリコン単結晶球体の直径を10のマイナス6乗の不確かさで計測する技術の確立であり、その実現のため、本年度は球体屈折率の自律的補正法による屈折率測定手法の確立を目指し研究を行なった。屈折率について、波長分散と屈折率絶対値に分けて考え、その補正についての検討を行った。波長分散はWGMによって共振する光周波数の間隔が一定になることを利用し、その間隔のばらつきがすなわち屈折率の分散によるものであると仮定した上で、補正をおこの合う方法を提案した。また、絶対値については、離れた2つの角度モード番号（すなわち異なる波長）での屈折率の差を利用することで、保定する手法を提案した。結果として、波長分散は10の－6乗程度のオーダまで補正が可能であることが示唆された。また、屈折率の絶対値については、共振波長の測定精度が0.01 pm程度まで保証できるのであれば、直径数nmレベルの正確さで補正できることがわかった。
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半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測（第4報）-リットマン型外部共振器機構による絶対距離計測-
使用半导体激光器和外部谐振器机构的高精度长度测量（第四次报告） - 使用利特曼型外部谐振器机构的绝对距离测量 -
使用半导体激光器和外部谐振器机构的高精度长度测量（第四次报告） - 使用利特曼型外部谐振器机构的绝对距离测量 -
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[K. Iwao, T. Hirooka, 石須慶一，小川康雄，布原 啓史，土屋 範芳，市來 雅啓，長谷 英彰，神田 径 ，坂中伸也，本藏義守，日野裕太，関香織，Kuo Hsuan Tseng，山谷祐介， 茂木透, 合田周平]
通讯作者：
合田周平
High precision distance measurement based on external cavity with dual periodic grating
基于双周期光栅外腔的高精度测距
基于双周期光栅外腔的高精度测距
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Takayoshi Kikkawa, Sei-ichiro Sakata, Shuhei Goda]
通讯作者：
Shuhei Goda
個人HP
个人生命值
个人生命值
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
絶対距離計測を用いた高精度内径形状計測に関する研究 -二重周期回折格子を用いた基準点位置制御手法の理論的検討-
利用绝对距离测量的高精度内径形状测量研究-利用双周期衍射光栅的参考点位置控制方法的理论研究-
利用绝对距离测量的高精度内径形状测量研究-利用双周期衍射光栅的参考点位置控制方法的理论研究-
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[H. Yilmazer, I. Caha, B. Dikici, F. Toptan, M. Isik, M. Niinomi, M. Nakai, A.C. Alves, 藤村蒼輝]
通讯作者：
藤村蒼輝
ファブリーペロー共振器を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究（第1報） -二平面間の距離測定-
使用法布里-珀罗谐振器的微型三坐标测量机探头直径校正仪的研究（第一篇报告） - 两个平面之间的距离测量 -
使用法布里-珀罗谐振器的微型三坐标测量机探头直径校正仪的研究（第一篇报告） - 两个平面之间的距离测量 -
DOI：
--
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Akihiro Ikeda, Teiji Uozumi, Akimasa Yoshikaw, Akiko Fujimoto, Shuji Abe, 加藤千聖，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋 哲]
通讯作者：
加藤千聖，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋 哲
共 13 条
3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測
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批准号：23K26008
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$7.57万
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财政年份：2024
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负责人：道畑 正岐
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依托单位：
3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測
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批准号：23H01313
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$11.98万
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财政年份：2023
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负责人：道畑 正岐
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依托单位：
破壊的干渉照明を用いた次世代極細光ファイバ直径のナノ精度計測原理の確立
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批准号：22K18747
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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资助金额：$4.08万
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财政年份：2022
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负责人：道畑 正岐
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依托单位：
レーザトラッピングプローブを用いたナノ3次元座標計測に関する研究
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批准号：08J00399
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$0.77万
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财政年份：2008
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负责人：道畑 正岐
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依托单位：
国内基金
海外基金
平面薄膜波导近场光共振增强技术原理与实验研究
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批准号：69878026
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项目类别：面上项目
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资助金额：11.0万元
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批准年份：1998
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负责人：王克逸
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依托单位：