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質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測

超高精度、宽范围硅球测量质量标准溯源系统

基本信息

批准号：
20H02040
负责人：
道畑正岐
金额：
$ 11.4万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究の最終目的は、直径94 mmから94 μmのシリコン単結晶球体の直径を10のマイナス6乗の不確かさで計測する技術の確立であり、その実現のため、本年度は球体屈折率の自律的補正法による屈折率測定手法の確立を目指し研究を行なった。屈折率について、波長分散と屈折率絶対値に分けて考え、その補正についての検討を行った。波長分散はWGMによって共振する光周波数の間隔が一定になることを利用し、その間隔のばらつきがすなわち屈折率の分散によるものであると仮定した上で、補正をおこの合う方法を提案した。また、絶対値については、離れた2つの角度モード番号（すなわち異なる波長）での屈折率の差を利用することで、保定する手法を提案した。結果として、波長分散は10の－6乗程度のオーダまで補正が可能であることが示唆された。また、屈折率の絶対値については、共振波長の測定精度が0.01 pm程度まで保証できるのであれば、直径数nmレベルの正確さで補正できることがわかった。

In this study, the diameter of the crystal sphere is less than 10 mm, the diameter of 94 μ m, the diameter of 10 μ m, 6%, The discount rate is different, the wave length dispersion ratio is different, and the wave length dispersion ratio is different. The wave length dispersion WGM resonance optical cycle wave number must be used to determine the optical cycle wave number, the wave length, the optical cycle, the wave number, the wave length, the resonance, the optical cycle, the wave number, the wave length, the resonance, the optical cycle, the wave length, the wave length, the optical cycle, the optical cycle, the wave length, the wave length, the optical cycle, the wave number, the wave number, the The difference in the rate of discount is due to the difference in the number (wave length) of the angle (wave length). The difference in the rate of discount is based on the method proposed by Baoding and Baoding. Results the degree of dispersion of wave length and wave length was 10 to 6 years, and it was possible to show signs of instigation. The accuracy of the measurement of refractive index, refractive index, resonant wave length is 0.01 pm, and the number of diameters of nm is correct.