Picometer positioning control in air by ultra-high resolution displacement measurement and drive system
Picometer positioning control in air by ultra-high resolution displacement measurement and drive system
通过超高分辨率位移测量和驱动系统进行皮米级空气定位控制
批准号：
20H02042
负责人：
AKETGAWA MASATO
金额：
$11.73万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
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ハノイ工科大学(ベトナム)
河内科技大学（越南）
河内科技大学（越南）
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
DOI：
10.1016/j.measen.2021.100336
发表时间：
2021
期刊：
Measurement: Sensors
影响因子：
--
作者：
[Higuchi, M., Wei, D., Aketagawa, M.]
通讯作者：
M.
Field Programmable Gate Arrayを用いた高速正弦波位相変調干渉計の開発
利用现场可编程门阵列开发高速正弦相位调制干涉仪
利用现场可编程门阵列开发高速正弦相位调制干涉仪
DOI：
--
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Takahiro Shimada, Kairi Masuda, Youhei Hagiwara, Naoki Ozaki, Tao Xu, Jie Wang, and Takayuki Kitamura, 伊藤佑太，木村康裕，徳悠葵，巨陽, 片桐且成・明田川正人・樋口雅人・佐藤 拓]
通讯作者：
片桐且成・明田川正人・樋口雅人・佐藤 拓
19-picometer mechanical step displacement measurement using heterodyne interferometer with phase-locked loop and piezoelectric driving flexure-stage
使用锁相环和压电驱动挠曲台外差干涉仪进行 19 皮米机械步进位移测量
使用锁相环和压电驱动挠曲台外差干涉仪进行 19 皮米机械步进位移测量
DOI：
10.1016/j.sna.2020.111880
发表时间：
2020
期刊：
Sensors and Actuators A: Physical
影响因子：
--
作者：
[Thanh Dong Nguyen, Quang Anh Duong, Masato Higuchi, Thanh Tung Vu, Dong Wei, Masato Aketagawa]
通讯作者：
Masato Aketagawa
10-pm-order mechanical displacement measurements using heterodyne interferometry
使用外差干涉测量法进行 10 pm 级机械位移测量
使用外差干涉测量法进行 10 pm 级机械位移测量
DOI：
10.1364/ao.400682
发表时间：
2020
期刊：
Applied Optics
影响因子：
1.9
作者：
[Thanh Dong Nguyen, Masato Higuchi, Thanh Tung Vu, Dong Wei, AND Masato Aketagawa]
通讯作者：
AND Masato Aketagawa
共 7 条