Basic Study on Plasma Nitriding Process and NH radical

○ NH2ラジカル蛍光の調査窒素－水素パルスアーク型大気圧プラズマジェットに照射するパルスレーザー波長を約385nmに調節することで，400nm付近のNH2ラジカル蛍光を観測する系を実現した。前年度のNHラジカル蛍光実験と同様の観測を行った結果，NHとは対照的にジェットプルーム中のNH2ラジカルは検出限界以下しか存在しないことが明らかとなった。○質量分析法によるプラズマジェット由来N原子信号の検出差動排気を搭載した四重極質量分析計を用い，以下の手順でジェットプルームからサンプリングしたガスのN原子の信号検出を行った。直径0.5,1,2mmのオリフィスにジェットプルームを照射した。分子量28に対する分子量14の強度比から単位N2密度あたりのN強度を換算し，プラズマ点火時と未点火時の換算値の差を取り，その値を改めて「検出値」と定義し照射距離および水素分圧依存性を求めた。その結果，検出値は照射距離の増加に伴い減少し，また水素流量比の増加に伴い増加する傾向を示した。○ 誘電体バリア放電のNH蛍光観測実験平板型誘電体バリア放電に対してレーザー誘起蛍光法を適用するための，専用放電極・蛍光観測装置を完成させた。100mm四方の誘電体バリアおよび放電極系を内包できるサイズの石英製密閉容器を作製し，側面にレーザー照射用，蛍光観測用の無水石英窓を合計４つ設置した。ミラー等の各種光学系を配置し，バリア放電極系のギャップ間にパルスレーザーを照射し，ICCD搭載分光器によってラジカルの蛍光を観測する系を構築した。新たにシース状バリアを開発し，レーザー断面内にのみ選択的にバリア放電を点火する局所放電系を実現した。前年度にプラズマジェット中のNH観測に成功した際と同一のLIFおよび観測パラメータを採用したにもかかわらず，バリア放電中ではNHラジカルは検出限界以下であることが明らかとなった。

○ NH2ラジカル蛍光の調査窒素－水素パルスアーク型大気圧プラズマジェットに照射するパルスレーザー波長を約385nmに調節することで，400nm付近のNH2ラジカル蛍光を観測する系を実現した。前年度のNHラジカル蛍光実験と同様の観測を行った結果，NHとは対照的にジェットプルーム中のNH2ラジカルは検出限界以下しか存在しないことが明らかとなった。○質量分析法によるプラズマジェット由来N原子信号の検出差動排気を搭載した四重極質量分析計を用い，以下の手順でジェットプルームからサンプリングしたガスのN原子の信号検出を行った。直径0.5,1,2mmのオリフィスにジェットプルームを照射した。分子量28に対する分子量14の強度比から単位N2密度あたりのN強度を換算し，プラズマ点火時と未点火時の換算値の差を取り，その値を改めて「検出値」と定義し照射距離および水素分圧依存性を求めた。その結果，検出値は照射距離の増加に伴い減少し，また水素流量比の増加に伴い増加する傾向を示した。○ 誘電体バリア放電のNH蛍光観測実験平板型誘電体バリア放電に対してレーザー誘起蛍光法を適用するための，専用放電極・蛍光観測装置を完成させた。100mm四方の誘電体バリアおよび放電極系を内包できるサイズの石英製密閉容器を作製し，側面にレーザー照射用，蛍光観測用の無水石英窓を合計４つ設置した。ミラー等の各種光学系を配置し，バリア放電極系のギャップ間にパルスレーザーを照射し，ICCD搭載分光器によってラジカルの蛍光を観測する系を構築した。新たにシース状バリアを開発し，レーザー断面内にのみ選択的にバリア放電を点火する局所放電系を実現した。前年度にプラズマジェット中のNH観測に成功した際と同一のLIFおよび観測パラメータを採用したにもかかわらず，バリア放電中ではNHラジカルは検出限界以下であることが明らかとなった。