Hochdurchsatz-Photoelektronenspektroskopie-Anlage (XPS, UPS)

光电式光电子材料原件(XPS、UPS)将自动地从化学和化学结合中分离出来(100 Mm DurchMesser)Sowie für Valenzband Spektroskopie an OberfläChen und in Tiefenprofilen an DünschichtMateralbibliotheken(100 Mm DurchMesser)Sowie für Einzelproen Benötigt.Bisher kann是一名材料书目，麻省理工学院自动生成方法(EdX)，它是Zusammensetzung gessen的集成。在这些元素的基础上，XPS和XPS的结构信息和基本元素的分析。这些自闭症患者都是由军团成员组成的，而且他们的工作也不是很顺利。从材料和错误的角度来看，Zusammensetzungs-Prozessierungs-Struktur-Funktions-Beziehungen是一种化学信息技术和技术。我们的真空转移系统是一种新型的电子设备，它是一种新型的电子设备，它是一种新型的电子设备，它是一种新型的设备。

Die Hochdurchsatz Photoelektronenspektroskopie Anlage (XPS, UPS) wird für die automatisierte Untersuchung der chemischen Zusammensetzung und der chemischen Bindungen sowie für Valenzbandspektroskopie an Oberflächen und in Tiefenprofilen an Dünnschichtmaterialbibliotheken (100 mm Durchmesser) sowie für Einzelproben benötigt. Bisher kann an Materialbibliotheken mit automatisierten Methoden (EDX) nur die integrale Zusammensetzung gemessen werden. Die Hochdurchsatz XPS Anlage ermöglicht eine genauere Messung der Zusammensetzungen und die Analyse der Elementverteilung in der Schicht sowie der chemischen Zustände der untersuchten Elemente. Mittels UPS können Valenzbandspektren aufgenommen werden, um z.B. Legierungs-/Dotiereffekte insbesondere an oxidischen Systemen zu untersuchen. Die Hochdurchsatz XPS Anlage vervollständigt die vorhandenen Messmethoden für die kombinatorische Materialforschung und erlaubt es, Zusammensetzungs-Prozessierungs-Struktur-Funktions-Beziehungen mit genauesten chemischen Informationen zu komplettieren. Ein Vakuumtransfersystem zwischen den kombinatorischen Beschichtungsanlagen und der XPS Anlage erlaubt es, Materialbibliotheken, kontaminationsfrei und ohne Sputterreinigung zu untersuchen und dann weiter zu prozessieren.