Hochdurchsatz-Photoelektronenspektroskopie-Anlage (XPS, UPS)

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Die Hochdurchsatz Photoelektronenspektroskopie Anlage (XPS, UPS) wird für die automatisierte Untersuchung der chemischen Zusammensetzung und der chemischen Bindungen sowie für Valenzbandspektroskopie an Oberflächen und in Tiefenprofilen an Dünnschichtmaterialbibliotheken (100 mm Durchmesser) sowie für Einzelproben benötigt. Bisher kann an Materialbibliotheken mit automatisierten Methoden (EDX) nur die integrale Zusammensetzung gemessen werden. Die Hochdurchsatz XPS Anlage ermöglicht eine genauere Messung der Zusammensetzungen und die Analyse der Elementverteilung in der Schicht sowie der chemischen Zustände der untersuchten Elemente. Mittels UPS können Valenzbandspektren aufgenommen werden, um z.B. Legierungs-/Dotiereffekte insbesondere an oxidischen Systemen zu untersuchen. Die Hochdurchsatz XPS Anlage vervollständigt die vorhandenen Messmethoden für die kombinatorische Materialforschung und erlaubt es, Zusammensetzungs-Prozessierungs-Struktur-Funktions-Beziehungen mit genauesten chemischen Informationen zu komplettieren. Ein Vakuumtransfersystem zwischen den kombinatorischen Beschichtungsanlagen und der XPS Anlage erlaubt es, Materialbibliotheken, kontaminationsfrei und ohne Sputterreinigung zu untersuchen und dann weiter zu prozessieren.