拡散レーザ光照射によるボールレンズアレイの三次元位置・姿勢の同時精密測定

令和2年度には，光軸に垂直な方向の変位測定及び角度測定（ピッチング）の２方向の変位測定を透過液晶ディスプレイの切替えにより実現した．この測定と，光軸に垂直なもう１つの軸についての変位及び角度測定（ヨーイング）は，同等なので，計４方向についての測定が実現できた．令和3年度は，光軸に垂直な面内での回転運動をボールレンズの干渉計測により実現した．また，光軸方向の変位計測は簡単な変位干渉計で実現できる．その結果，温度安定化レーザーを光源とする拡散光の中に配置したボールレンズを透過型液晶ディスプレイによって選択し，ボールレンズの６自由度運動を測定することが可能になった．令和４年度は，レーザー光源を追加し，複数の方向からの拡散光によって照明した．その拡散光の照明範囲内に，同時に透過型液晶ディスプレイ及びボールレンズから構成される測定ターゲットを配置した．透過型液晶ディスプレイを透過後ボールレンズで反射した光は，それぞれの光源の方向へ戻り，受光素子で光強度を観測することにより，干渉計を構成できることを確認した．研究成果”Interferometer for multi-degree-of-freedom measurement using ball lens and liquid crystal”を”8th International Conference on Nanomanufacturing(On Line)”において，口頭発表した．また，令和５年９月に開催される”International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments”において，口頭発表を予定している．

令和2年度には，光軸に垂直な方向の変位測定及び角度測定（ピッチング）の２方向の変位測定を透過液晶ディスプレイの切替えにより実現した．この測定と，光軸に垂直なもう１つの軸についての変位及び角度測定（ヨーイング）は，同等なので，計４方向についての測定が実現できた．令和3年度は，光軸に垂直な面内での回転運動をボールレンズの干渉計測により実現した．また，光軸方向の変位計測は簡単な変位干渉計で実現できる．その結果，温度安定化レーザーを光源とする拡散光の中に配置したボールレンズを透過型液晶ディスプレイによって選択し，ボールレンズの６自由度運動を測定することが可能になった．令和４年度は，レーザー光源を追加し，複数の方向からの拡散光によって照明した．その拡散光の照明範囲内に，同時に透過型液晶ディスプレイ及びボールレンズから構成される測定ターゲットを配置した．透過型液晶ディスプレイを透過後ボールレンズで反射した光は，それぞれの光源の方向へ戻り，受光素子で光強度を観測することにより，干渉計を構成できることを確認した．研究成果”Interferometer for multi-degree-of-freedom measurement using ball lens and liquid crystal”を”8th International Conference on Nanomanufacturing(On Line)”において，口頭発表した．また，令和５年９月に開催される”International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments”において，口頭発表を予定している．