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拡散レーザ光照射によるボールレンズアレイの三次元位置・姿勢の同時精密測定

利用扩散激光束照射同时精确测量球透镜阵列的三维位置和方向

基本信息

批准号：
20K04199
负责人：
古谷涼秋
金额：
$ 2.75万
依托单位：
Tokyo Denki University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
起止时间：
2020-04-01 至 2024-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

令和2年度には，光軸に垂直な方向の変位測定及び角度測定（ピッチング）の２方向の変位測定を透過液晶ディスプレイの切替えにより実現した．この測定と，光軸に垂直なもう１つの軸についての変位及び角度測定（ヨーイング）は，同等なので，計４方向についての測定が実現できた．令和3年度は，光軸に垂直な面内での回転運動をボールレンズの干渉計測により実現した．また，光軸方向の変位計測は簡単な変位干渉計で実現できる．その結果，温度安定化レーザーを光源とする拡散光の中に配置したボールレンズを透過型液晶ディスプレイによって選択し，ボールレンズの６自由度運動を測定することが可能になった．令和４年度は，レーザー光源を追加し，複数の方向からの拡散光によって照明した．その拡散光の照明範囲内に，同時に透過型液晶ディスプレイ及びボールレンズから構成される測定ターゲットを配置した．透過型液晶ディスプレイを透過後ボールレンズで反射した光は，それぞれの光源の方向へ戻り，受光素子で光強度を観測することにより，干渉計を構成できることを確認した．研究成果”Interferometer for multi-degree-of-freedom measurement using ball lens and liquid crystal”を”8th International Conference on Nanomanufacturing(On Line)”において，口頭発表した．また，令和５年９月に開催される”International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments”において，口頭発表を予定している．

In the 2nd year of Reiwa, the measurement of the position of the vertical direction of the optical axis and the measurement of the angle (ピッチング) of the 2-direction position of the optical axis are carried out through the liquid crystal display.このmeasurementと, the optical axis is perpendicular to the なもう１つのaxis についての変 Position and びangle measurement (ヨーイング) は, the same なので, the 4-direction についてのmeasurement が実成できた. In the 3rd year of Reiwa, the optical axis is vertical and the in-plane return movement is measured and measured.また, the measurement of the position of the optical axis in the direction of the optical axis is a simple measurement of the position interference of the optical axis. As a result, the temperature stabilized light source and the astigmatism light source are configured in a transmissive liquid crystalディスプレイによって选択し, ボールレンズの６determination of motion with 6 degrees of freedom することがpossibleになった. In the 4th year of Reiwa, the light source is added, and the direction of the plural direction is astigmatism and lighting. The illumination range of the astigmatism is within the range, and the configuration of the transmission type liquid crystal light and the びボールレンズから is measured at the same time. The transmissive liquid crystal display reflects the light after transmitting it, and the direction of the light source.へ戻り, the light intensity of the light-receiving element is measured, the interference meter is composed, and the composition is confirmed. Research results "Interferometer for multi-degree-of-freedom measurement using ball lens and liquid crystal" を" 8th International Conference on Nanomanufacturing (On Line)" において, oral 発 table した.また, "International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments" was released in September of the 5th year of Reiwa, and it was decided verbally.