白金酸化物積層膜の還元過程と高温情報センシング応用

氧化铂叠层薄膜还原工艺及高温信息传感应用

• 批准号: 20K04571
• 负责人: 島 隆之
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2020
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2020-04-01 至 2024-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20K04571/
• 关键词: 酸化物; 還元; 情報記録

還元が容易な酸化白金(PtOx, x≦2)と熱的に安定な酸化物(SiO2やTiO2など)の各薄膜を積層した構造において、酸化白金の還元過程および還元前後の熱的安定性について評価を行う。コールドストレージ用途の光記録媒体において、記録保存の長寿命化に求められる仕様の学術的な理解を深めるほか、AI・IoT社会および低炭素社会の到来でニーズが高まる情報センシングへの応用を図る検討を行う。令和4年度は主に酸化白金薄膜をレーザー光加熱により還元する検討を行った。市販のレーザー光加工装置を用い、レーザー光強度及び走査速度の各条件を最適化した結果、白金薄膜を得ることができた。具体的には、X線回折測定から白金由来の回折ピークが観測された。また金属が生成したことに伴い、周囲温度と電気抵抗値の間に強い正の相関が認められた。合わせて、レーザー光強度がより高いときは、薄膜はアブレーションして除去された。この加熱と除去を組み合わせた結果、白金薄膜をパターニングしてプラスチック基板上に形成することができた。この白金パターンは、温度計のほか、ボロメータなどの赤外線センサや電気配線に適用することが期待される。またフレキシブルな基板上に作製できる優位性も示された。今後は熱的に安定な酸化物（TiO2）や金属（Ti）を積層した状態で試験を行い、白金層の基板への密着性を向上させる検討を行う。またパターニングの微細化を検討し、多数のパターン作製と微細パターンの評価がそれぞれ行えるように検討を進める。

Platinum (PtOx, x ≤ 2) is easy to acidify and stable to heat. Platinum (PtOx, x ≤ 2) is easy to acidify and stable to heat. Platinum (SiO2) is easy to acidify and stable to heat. Platinum (PtOx, x ≤ 2) is easy to acidify. Platinum (SiO2) is easy to acidify and stable to heat. Platinum (PtOx, x ≤ 2) is easy to acidify and stable to heat. Platinum (SiO2) is easy to acidify and stable to heat. Platinum (PtOx, x ≤ 2) is easy to acidify and stable to heat. The optical recording medium for the purpose of communication, the long life of record preservation, the academic understanding of communication, the AI, IoT society, and the arrival of a low-carbon society, the discussion of communication and the use of information In the fourth year, the main acidification platinum film was heated by light. The conditions for the application, light intensity and scanning speed of the light processing equipment in the market were optimized, and the platinum film was obtained. The specific X-ray reflection measurement of platinum origin and reflection measurement of platinum origin. The relationship between metal formation, temperature and electrical resistance is strong. The light intensity of the composite film is high, and the film is removed. The heating and removal of the platinum film results in the formation of a thin film on the substrate. The platinum, thermometer, infrared and electric wiring are expected to be used. The best way to do this is to make sure that you're on top of it. In the future, the thermal stability of the acid (TiO2) and metal (Ti) layers will be tested, and the adhesion of the platinum layer will be discussed. The discussion of miniaturization of the film, the evaluation of the production of the film and the evaluation of the film are carried out.

项目成果

Post-annealing effect of thin platinum oxide film on tin oxide film for an application enhancing gas sensitivity

氧化铂薄膜对氧化锡薄膜的后退火效应，用于增强气体灵敏度的应用

• DOI: 10.35848/1347-4065/ac8299
• 发表时间: 2022
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics
• 影响因子: 1.5
• 作者: Shima Takayuki;Furukawa Hiromitsu
• 通讯作者: Furukawa Hiromitsu