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超硬質・低摩擦な窒化炭素膜の創製に向けた前駆体の解明

超硬質・低摩擦な窒化炭素膜の創製に向けた前駆体の解明
阐明用于制造超硬、低摩擦氮化碳薄膜的前驱体
批准号:
24K08100
负责人:
田中 一平
金额:
$3.0万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2024
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2024-04-01 至 2027-03-31
关键词:

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イオン・ラジカルが共存する高密度プラズマからの超硬質・低摩擦な窒化炭素膜の創製
  • 批准号:
    21K14440
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
  • 资助金额:
    $2.91万
  • 财政年份:
    2021
  • 负责人:
    田中 一平
  • 依托单位: