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欠陥導入と仕事関数制御による溶液法IGZOオゾンセンサーおよびダイオードの作製

欠陥導入と仕事関数制御による溶液法IGZOオゾンセンサーおよびダイオードの作製
通过缺陷引入和功函数控制溶液法IGZO臭氧传感器和二极管的制作
批准号:
24K08576
负责人:
森本 貴明
金额:
$2.83万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2024
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2024-04-01 至 2029-03-31
关键词:

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低温製膜されたIGZO薄膜の酸素欠陥制御によるフレキシブル機能デバイスの開発
次世代半導体ゲート絶縁膜用の高誘電率材料における欠陥構造と絶縁破壊機構の解明
  • 批准号:
    13J03090
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额:
    $1.41万
  • 财政年份:
    2013
  • 负责人:
    森本 貴明
  • 依托单位: