Development of compact superconducting magnetic energy storage devices for volume demand based on the silicon microfabrication technology

基于硅微加工技术开发满足批量需求的紧凑型超导磁储能装置

• 批准号: 19H02195
• 负责人: MOTOHIRO Tomoyoshi
• 金额: $ 11.15万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2019
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2019-04-01 至 2022-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19H02195/
• 关键词: 超電導磁気エネルギー貯蔵; シリコン微細加工技術（MEMS）; 銅めっき; スパッタ成膜技術; MOD成膜技術; 極低温冷凍機; 化学機械研磨(CMP); 磁場計算; 超電導コイル; 電力貯蔵; シリコンウェハ; トレンチ; MOD法; 銅酸化物高温超電導薄膜; シリコン微細加工プロセス; 超電導蓄電コイル; MEMS; めっき; Siウェハ; 超電導; コイル; 蓄電; Si微細加工技術; 小型化

项目成果

Estimation of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Si wafer Stacks Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches under the Constraint of Critical Magnetic Flux Density

临界磁通密度约束下螺旋沟槽中装载超导薄膜线圈的硅片叠层组成的紧凑型SMES的蓄电密度估算

• 发表时间: 2019
• 作者: T. Motohiro;M. Sasaki;J.-H. Noh
• 通讯作者: J.-H. Noh

めっき法を用いた小型SMESのための超電導体材料上への銅膜形成

采用电镀法在小型 SMES 超导材料上形成铜膜

• 发表时间: 2021
• 作者: 信夫勇佑;荒川太郎，盧柱亨，高井治;本間英雄;元廣友美;佐々木実
• 通讯作者: 佐々木実

Stacking 4” Si Wafer with Parallel 3-Stepped Micro-Trenches to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage

使用平行三阶梯微沟槽堆叠 4 英寸硅片，沉积用于磁能存储的超导材料

• 发表时间: 2019
• 作者: M. Sasaki;Y. Suzuki;T. Hioki;T. Motohiro,
• 通讯作者: T. Motohiro,

めっき法によるPEEK樹脂樹脂上への銅皮膜パターン形成およびYBCO上への銅皮膜形成

通过电镀法在 PEEK 树脂和 YBCO 上形成铜膜图案

• 发表时间: 2022
• 期刊: 横浜国立大学理工学府 修士論文
• 作者: Sasaki Minoru;Noh Joo-Hyong;Takai Osamu;Motohiro Tomoyoshi;信夫勇佑
• 通讯作者: 信夫勇佑

Estimation of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Si-wafer Stacks Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches under the Constraints of the Critical Magnetic Flux Density

临界磁通密度约束下螺旋沟槽中装载超导薄膜线圈的硅片叠层组成的紧凑型SMES的蓄电密度估算

• DOI: 10.1088/1742-6596/1590/1/012045
• 发表时间: 2020
• 期刊: Journal of Physics: Conference Series
• 作者: Motohiro T;Sasaki M;Noh J-H;Takai O;Honma H
• 通讯作者: Honma H