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プラズマモデリングの高精度化を目指した電子衝突断面積の精密定量測定

电子碰撞截面的精确定量测量旨在提高等离子体建模精度

基本信息

批准号：
19K03812
负责人：
星野正光
金额：
$ 2.66万
依托单位：
Sophia University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
起止时间：
2019-04-01 至 2024-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19K03812/
关键词：
電子衝突プラズマ素過程衝突断面積低エネルギー電子分光

项目摘要

本申請課題では、より現実に近い半導体プロセスや核融合プラズマの挙動解明のために行われるプラズマモデリングで利用される電子衝突断面積データを定量的に測定・評価することで、より現実に近い高精度なモデリングを目指し、さらに近年利用される理論値の妥当性も合わせて検証することを大きな目的とした。特にプラズマモデリングで重要な電子と気相原子・分子との1回衝突における各散乱過程の積分断面積と運動量移行断面積の定量的な値を得るために、標的の終状態を選別した角度微分断面積を測定してきた。しかしながら、実際の実験において、実験装置の幾何学的制約から測定可能な角度範囲が、低エネルギー領域では約30度から130度に限定され、それ以外の角度は理論計算や実験データのフィッティングによる外挿を用いるのが一般的であり、得られた積分・運動量移行断面積には大きな不確かさが含まれていた。そこで実験的により広角度範囲に散乱された電子を検出、評価するための工夫を重ねてきた。令和２度の新型コロナウィルス感染拡大による入構制限から当初の計画から大幅な遅れが生じ、令和３年度から令和４度にかけて行ったビーム軌道シミュレーションに基づく前方散乱の検出に関する改良とそれに伴う知見、極性分子特有の回転励起を考慮した前方散乱に対する精密な外挿方法を新たに提案し、測定の困難な測定データの慎重に検証を重ねてきた。また令和４度は、より精密な衝突断面積測定の前方散乱、及び後方散乱のデータについての考察・検証の結果をさまざまなプラズマ関連分子へと拡張し、弾性散乱のみならず振動励起や電子励起過程などの比弾性散乱過程対しても、幅広い電子エネルギー範囲に対して当初の目的であった断面積データセットの実験的な評価を行い、いくつかの成果報告を行った。

In this application, the system is used to determine the accuracy of the nuclear fusion system. In this application, the computer is used to determine the accuracy and accuracy of the computer. In recent years, we have made use of the theory of propriety to meet the needs of the general public. Special attention should be paid to the critical electrical engineering phase, atoms and molecules, during the process of each disorderly process, the positive cross-section of the moving cross-section, the positive quantity of the moving cross-section, and the angle differential cross-section should be selected to actively measure the temperature. The measurement of the possible angle range, the low temperature range of the field, the limit of 130 degrees, the calculation of the outside angle, the calculation of the temperature, the angle, the angle. Get a positive score of the volume of movement in the cross section. The range of the angle of the machine is scattered, the computer is out, and the machine is busy working hard. In the first place, there was a significant increase in the number of students in the first half of the year. In the first place, there was a significant increase in the number of people who were born in the first half of the year. In the first place, there was a significant increase in the number of students in the first half of the year. Sexual molecules are unique in their response to the examination, the front scatter, the precision external method, the new proposal, the determination of the difficulty, the caution, the caution, the caution. The test results show that the front and rear scattered parts are scattered, the front and rear parts are scattered, the front and rear parts are scattered, the front is scattered, and the rear is scattered. In the first place, the purpose of this paper is to discuss the business of the cross-section and the report of the results of the project.