权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

表面科学研究に基づく高排気速度低活性化温度長寿命非蒸発型ゲッターの開発

基于表面科学研究开发高抽速、低活化温度、长寿命的非蒸发型吸气剂

基本信息

批准号：
19K05280
负责人：
菊地貴司
金额：
$ 2.75万
依托单位：
High Energy Accelerator Research Organization
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
起止时间：
2019-04-01 至 2024-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

真空中で加熱すると反応性の高い表面が生成し（活性化）、残留ガスを排気する材料を非蒸発型ゲッター（NEG）と呼ぶ。NEGを利用したNEGポンプは、省エネルギー、大排気速度、無振動、軽量といった利点があり、加速器、電子顕微鏡等に広く使われている。しかし市販のNEGには、活性化温度が300℃以上、大気導入と活性化を繰返すと排気性能が低下する、といった欠点があった。本研究の目的は、排気速度が大きく、H2Oも排気でき、活性化温度が100～150℃と低く、大気導入と活性化を繰返しても排気性能が低下しない新しいNEGを開発することである。これまで、新しいNEGである無酸素Ag/Pd/Ti蒸着膜を開発したが、内面に無酸素Ag/Pd/Tiを蒸着した真空容器は150℃で3時間ベーキングしたあとの残留ガス測定で、無酸素Pd/Ti蒸着膜と比較して、H2とH2Oをあまり排気しないことがわかった。そこで、超高真空下で純度99.995%の無酸素Tiを蒸着したのち、純度99.9%の窒素を導入して表面を窒化することで、新しいNEGである表面窒化無酸素Ti蒸着膜を開発した。内面に表面窒化無酸素Tiを蒸着した真空容器は、真空排気、185℃、6時間ベーキング、真空封止すると10-7 Pa台の超高真空を維持すること、真空封止下でH2、H2O、O2、CO、CO2の分圧は10-8 Pa程度以下に保たれること、高純度N2導入、大気曝露、真空排気、185℃、6時間ベーキングのサイクルを30回くりかえしても残留ガスを排気することを見出した。活性化温度を100℃程度まで下げることを目的として無酸素Tiの純度をさらに上げた表面窒化高純度無酸素Ti蒸着膜を開発した。表面窒化高純度無酸素Ti蒸着膜が100℃、12時間のベーキングで活性化し、COを排気することを確認したので、2022年度は、これを放射光ビームラインへの応用を行った。

Heat in vacuum to form a reactive high surface, remove residual gas, and form a non-evaporating NEG. NEG can be used in various ways, such as energy saving, high emission speed, no vibration, high energy consumption, accelerator and electron microscope. NEG activation temperature above 300℃, high temperature induction activation temperature below 300℃, low exhaust performance below 300 ℃The purpose of this study is to increase the exhaust rate, decrease the H2O exhaust rate, decrease the activation temperature from 100 ℃ to 150℃, decrease the exhaust rate, and decrease the NEG development rate. The new NEG is used to measure the residual content of acid-free Ag/Pd/Ti vapor deposition film at 150℃ for 3 hours. In this paper, 99.995% pure acid-free Ti was evaporated under ultra-high vacuum, and 99.9% pure acid-free Ti was introduced into the surface to form an acid-free Ti evaporation film. Vacuum vessel, vacuum exhaust, 185℃, 6-time interval, vacuum seal, 10-7 Pa, ultra-high vacuum maintenance, partial pressure of H2, H2O, O2, CO, CO2 below 10-8 Pa, high purity N2 introduction, high gas exposure, vacuum exhaust, 185℃, 6 Time to go to the bathroom 30 minutes later The activation temperature is about 100℃, and the purity of acid-free Ti is about 100 ℃. Surface oxidation of high-purity acid-free Ti vapor deposition film at 100℃ for 12 hours to activate, CO emission, confirmation, year 2022, emission of light and use.

项目成果

期刊论文数量（35）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Zero-length conflat fin-type nonevaporable getter pump deposited with oxygen-free palladium/titanium

无氧钯/钛沉积的零长度平翅式非蒸发吸气泵

DOI：
10.1016/j.vacuum.2023.112004
发表时间：
2023
期刊：
Vacuum
影响因子：
4
作者：
Sato Yuta;Kikuchi Takashi;Miyazawa Tetsuya;Ohno Shinya;Hashimoto Ayako;Yamanaka Misao;Mase Kazuhiko
通讯作者：
Mase Kazuhiko

表面部分窒化無酸素チタン蒸着を利用した非蒸発型ゲッターポンプの開発

表面部分氮化无氧钛气相沉积非蒸发式吸气泵的研制