EUV Wavefront Synthesizer for Real-Time and Extended Depth-of-Focus Imaging
EUV Wavefront Synthesizer for Real-Time and Extended Depth-of-Focus Imaging
用于实时和扩展景深成像的 EUV 波前合成器
批准号：
19K05314
负责人：
Toyoda Mitsunori
金额：
$2.75万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2022-03-31
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EUV顕微鏡照明光学系の高照度化
高照度EUV显微镜照明光学系统
高照度EUV显微镜照明光学系统
DOI：
--
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
作者：
[脇 俊太郎, 津久井 雄祐, 陳 軍, 豊田 光紀]
通讯作者：
豊田 光紀
実験室EUV顕微鏡照明光学系の高照度化(2)
高照度实验室EUV显微镜照明光学系统（2）
高照度实验室EUV显微镜照明光学系统（2）
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[脇 俊太郎, 津久井 雄祐, 陳 軍, 豊田 光紀]
通讯作者：
豊田 光紀
２面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索（５）
全局搜索二面斜入射物镜设计方案（5）
全局搜索二面斜入射物镜设计方案（5）
DOI：
--
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
作者：
[山下正汰, 陳軍, 豊田光紀]
通讯作者：
豊田光紀
DOI：
10.35848/1347-4065/ac15ef
发表时间：
2021
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
[Harada Tetsuo, Yamakawa Shinji, Toyoda Mitsunori, Watanabe Takeo]
通讯作者：
Watanabe Takeo
見えない光を自在に操り、世界初の光学顕微鏡を開発
通过自由操纵不可见光开发出世界上第一台光学显微镜
通过自由操纵不可见光开发出世界上第一台光学显微镜
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
共 15 条
Multilayer-mirror objective for diffraction-limited focusing in extreme ultraviolet region
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批准号：16K13693
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额：$2.33万
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财政年份：2016
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负责人：Toyoda Mitsunori
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依托单位：