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Multilayer-mirror objective for diffraction-limited focusing in extreme ultraviolet region

Multilayer-mirror objective for diffraction-limited focusing in extreme ultraviolet region
用于极紫外区域衍射极限聚焦的多层镜物镜
批准号：
16K13693
负责人：
Toyoda Mitsunori
金额：
$2.33万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2018-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16K13693/
关键词：
極紫外多層膜ミラー高次高調波回折限界色収差極紫外線軟X線集光光学系

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EUV結像系用の曲面多層膜ミラーで生じる色収差とその補正法
EUV成像系统曲面多层镜引起的色差及其校正方法
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [M. Toyoda, Y. Tamaru, S. Mori, K. Sawada, Y. Fu, E. J. Takahashi, A. Suda, F. Kannari, K. Midorikawa, M. Yanagihara, 金子 明誉,豊田 光紀,高田 昌樹]
通讯作者： 金子 明誉,豊田 光紀,高田 昌樹
Multilayer Mirrors for Focusing Objective in 40-nm Wavelength Region
用于 40 nm 波长区域聚焦物镜的多层反射镜
DOI： --
发表时间： 2017
期刊： Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers
影响因子： --
作者： [M. Toyoda, Y. Tamaru, S. Mori, K. Sawada, Y. Fu, E. J. Takahashi, A. Suda, F. Kannari, K. Midorikawa, and M. Yanagihara]
通讯作者： and M. Yanagihara
回折限界EUV結像を実現するアクロマティックEUV多層膜ミラーの開発
开发实现衍射极限EUV成像的消色差EUV多层镜
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [金子 明誉,豊田 光紀,高田 昌樹]
通讯作者： 金子 明誉,豊田 光紀,高田 昌樹
Multilayer Mirror Objective for Focusing Isolated Attosecond Pulse in 40 nm Wavelength Region
用于聚焦 40 nm 波长范围内的孤立阿秒脉冲的多层镜物镜
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [藤田英理, 金澤誠司, 大谷清伸, 小宮敦樹, 金子俊郎, 佐藤岳彦, M. Toyoda,Y. Tamaru,S. Mori1,K. Sawada,Y. Fu,E. J. Takahashi,A. Suda,F. Kannari,K. Midorikawa,M. Yanagihara]
通讯作者： M. Toyoda,Y. Tamaru,S. Mori1,K. Sawada,Y. Fu,E. J. Takahashi,A. Suda,F. Kannari,K. Midorikawa,M. Yanagihara
共 8 条
    EUV Wavefront Synthesizer for Real-Time and Extended Depth-of-Focus Imaging
    • 批准号：
      19K05314
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      Toyoda Mitsunori
    • 依托单位：
      Tokyo Polytechnic University
    海外基金