全周微細形状測定システムの開発
全周微細形状測定システムの開発
全周精细形状测量系统的开发
批准号：
24K07260
负责人：
鍜島 麻理子
金额：
$2.91万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2027-03-31
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高精度回転テーブルによるフォトマスク円形状の高精度測定
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批准号：21K03797
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.66万
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财政年份：2021
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负责人：鍜島 麻理子
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依托单位：
熱ゆらぎ測定を用いた新しい構造解析手法の開発
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批准号：02J07722
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$0.64万
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财政年份：2002
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负责人：鍜島 麻理子
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依托单位：