权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

超小型・低消費電力のfin構造内蔵Si/LiNbO3超高速光変調器の研究開発

超小型、低功耗内置鳍片结构Si/LiNbO3超高速光调制器的研发

基本信息

批准号：
18K04294
负责人：
富田勲
金额：
$ 0.83万
依托单位：
Gifu National College of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
起止时间：
2018-04-01 至 2024-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

毎秒１０ギガビットを超える電気信号印加に対して半導体レーザー素子とは異なり出力光信号にチャーピング生成しない優れた電気光学特性を持つＬｉＮｂＯ３を利用し、低光損失、低光雑音、変調方式無依存の高速光信号を発生するＬｉＮｂＯ３光変調器が研究開発されている。しかし、デバイス長が数センチメートルもある当該光変調器の小型化に関しては、半導体微細加工で達成される精度・加工容易性と比較すると、最近ではＬｉＮｂＯ３をドライエッチング加工した小型変調器が製作されているものの、製造プロセスでのエッチングレート、精度、軽原子（Ｌｉ）拡散やコストの課題もあり、半導体プロセスでの費用対効果・完成度・完備性・安全性には及ばない状況である。そこで、半導体基板表面をパターニングし、スロット型光導波路を製作、ドーピング電極も形成し、LｉＮｂＯ３を接合するＳｉ／LｉＮｂＯ３融合型光変調器の性能・特性研究を進展させてきた。提案構造の光変調器の静的基礎特性（印加電圧・素子長、電極性能）を解析評価し、優れた特性が得られることを明らかにした（研究成果は前回報告時までに発表済み）。今回は、産業応用的な観点からパターニング容易な構造（簡素化したｆｉｎ構造）も併用し、変調ドーピングされたスロット光導波路および電気光学係数のより大きい材料も含めたデバイス構造提案により、静的特性の保持と動的特性（変調帯域）の改善に関する評価で良好な結果を得た。

In their second 10 ギガビットを super える electric 気 signal Inca にし seaborne て semiconductor レーザー element child とは different なり output optical signal にチャーピング generated しない optimal れた electric 気 optical properties を hold つ LiNbO3 を using し, low loss, low light 雑 sound and light - adjustable way no dependent の high-speed optical signal を発 raw する LiNbO3 optical - modulator が open 発 research Youdaoplaceholder0 されてる. しかし, デバイス length がセンチメートルもある - when the light modulator の miniaturization に masato しては, semiconductor microfabrication で reached される, precision machining, ease of と compare すると, recently では LiNbO3 をドライエッチング processing した small variations modulator が making されているものの, manufacturing プロセスでのエッチングレート, precision, 軽 atoms (Li) company, scattered やコストの subject もあり, semiconductor プロセスでの cost unseen seaborne fruit, completion, completeness, security には and ばない condition である. そこで, semiconductor substrate surface をパターニングし, スロットを type optical wave road, ドーピング electrode もし, LiNbO3 を joint する Si/LiNbO3 fusion type - light tones, の, performance features, research progress in をさせてきた. Proposal to construct の - light modulator の the basis of static characteristics (Inca electricity 圧, smaller, electrode performance) analytical review 価をし, superior れた features が have られることを Ming らかにした (research results to report back by はまでに発 table 済み). Today back は, industry 応な観 point からパターニング easy な structure (invigorative した fin structure) も and し, - ドーピングされたスロット optical wave road および electric 気 optical coefficient のより big きもい materials containing めたデバイス structure proposal により, characteristics of the static characteristic の keep と move 帯 domain (-) の improve に masato す価る assessment Youdaoplaceholder0 good な results をた.