超小型・低消費電力のfin構造内蔵Si/LiNbO3超高速光変調器の研究開発
超小型、低功耗内置鳍片结构Si/LiNbO3超高速光调制器的研发
基本信息
- 批准号:18K04294
- 负责人:
- 金额:$ 0.83万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2018
- 资助国家:日本
- 起止时间:2018-04-01 至 2024-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
毎秒10ギガビットを超える電気信号印加に対して半導体レーザー素子とは異なり出力光信号にチャーピング生成しない優れた電気光学特性を持つLiNbO3を利用し、低光損失、低光雑音、変調方式無依存の高速光信号を発生するLiNbO3光変調器が研究開発されている。しかし、デバイス長が数センチメートルもある当該光変調器の小型化に関しては、半導体微細加工で達成される精度・加工容易性と比較すると、最近ではLiNbO3をドライエッチング加工した小型変調器が製作されているものの、製造プロセスでのエッチングレート、精度、軽原子(Li)拡散やコストの課題もあり、半導体プロセスでの費用対効果・完成度・完備性・安全性には及ばない状況である。そこで、半導体基板表面をパターニングし、スロット型光導波路を製作、ドーピング電極も形成し、LiNbO3を接合するSi/LiNbO3融合型光変調器の性能・特性研究を進展させてきた。提案構造の光変調器の静的基礎特性(印加電圧・素子長、電極性能)を解析評価し、優れた特性が得られることを明らかにした(研究成果は前回報告時までに発表済み)。今回は、産業応用的な観点からパターニング容易な構造(簡素化したfin構造)も併用し、変調ドーピングされたスロット光導波路および電気光学係数のより大きい材料も含めたデバイス構造提案により、静的特性の保持と動的特性(変調帯域)の改善に関する評価で良好な結果を得た。
In their second 10 ギ ガ ビ ッ ト を super え る electric 気 signal Inca に し seaborne て semiconductor レ ー ザ ー element child と は different な り output optical signal に チ ャ ー ピ ン グ generated し な い optimal れ た electric 気 optical properties を hold つ LiNbO3 を using し, low loss, low light 雑 sound and light - adjustable way no dependent の high-speed optical signal を 発 raw す る LiNbO3 optical - modulator が open 発 research Youdaoplaceholder0 されて る. し か し, デ バ イ ス length が セ ン チ メ ー ト ル も あ る - when the light modulator の miniaturization に masato し て は, semiconductor microfabrication で reached さ れ る, precision machining, ease of と compare す る と, recently で は LiNbO3 を ド ラ イ エ ッ チ ン グ processing し た small variations modulator が making さ れ て い る も の の, manufacturing プ ロ セ ス で の エ ッ チ ン グ レ ー ト, precision, 軽 atoms (Li) company, scattered や コ ス ト の subject も あ り, semiconductor プ ロ セ ス で の cost unseen seaborne fruit, completion, completeness, security に は and ば な い condition で あ る. そ こ で, semiconductor substrate surface を パ タ ー ニ ン グ し, ス ロ ッ ト を type optical wave road, ド ー ピ ン グ electrode も し, LiNbO3 を joint す る Si/LiNbO3 fusion type - light tones, の, performance features, research progress in を さ せ て き た. Proposal to construct の - light modulator の the basis of static characteristics (Inca electricity 圧, smaller, electrode performance) analytical review 価 を し, superior れ た features が have ら れ る こ と を Ming ら か に し た (research results to report back by は ま で に 発 table 済 み). Today back は, industry 応 な 観 point か ら パ タ ー ニ ン グ easy な structure (invigorative し た fin structure) も and し, - ド ー ピ ン グ さ れ た ス ロ ッ ト optical wave road お よ び electric 気 optical coefficient の よ り big き も い materials containing め た デ バ イ ス structure proposal に よ り, characteristics of the static characteristic の keep と move 帯 domain (-) の improve に masato す 価 る assessment Youdaoplaceholder0 good な results を た.
项目成果
期刊论文数量(5)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
LiNb03/Si-Hybrid Slot-Waveguide Electro-Optic Modulators
LiNb03/Si 混合槽波导电光调制器
- DOI:
- 发表时间:2018
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:I. Tomita;K. Debnath;K. lbukuro;M. K. Husain;J. Byers;Z. Zhang;S. Saito
- 通讯作者:S. Saito
Novel Si Photonic Waveguides and Applications to Optical Modulators
新型硅光子波导及其在光调制器中的应用
- DOI:10.23919/moc46630.2019.8982871
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Saito S
- 通讯作者:Saito S
LiNbO3/Si-hybrid slot-waveguide electrooptic modulator designs for 1550 nm
1550 nm LiNbO3/Si 混合槽波导电光调制器设计
- DOI:
- 发表时间:2021
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T. M. Mercier;Martin D. B. Charlton;and I. Tomita
- 通讯作者:and I. Tomita
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