Micromachining using extreme ultraviolet radiation from laser-produced plasma
Micromachining using extreme ultraviolet radiation from laser-produced plasma
使用激光产生的等离子体的极紫外辐射进行微加工
批准号：
18K04770
负责人：
Makimura Tetsuya
金额：
$2.75万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-01 至 2023-03-31
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High-aspect micromachining of PDMS sheets using laser plasma EUV radiation
使用激光等离子体 EUV 辐射对 PDMS 片材进行高宽比微加工
使用激光等离子体 EUV 辐射对 PDMS 片材进行高宽比微加工
DOI：
--
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Jiang Yuan, Kotaro Oguchi, Tetsuya Makimura]
通讯作者：
Tetsuya Makimura
EUV ablation of polydimethylsiloxane elastomer
聚二甲基硅氧烷弹性体的 EUV 烧蚀
聚二甲基硅氧烷弹性体的 EUV 烧蚀
DOI：
--
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kotaro Oguchi, Yuhao Wang, Tetsuya Makimura]
通讯作者：
Tetsuya Makimura
Silica ablation process induced by nanosecond EUV irradiation
纳秒 EUV 照射引起的二氧化硅烧蚀过程
纳秒 EUV 照射引起的二氧化硅烧蚀过程
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Jiang Yuan, Kotaro Oguchi, Tetsuya Makimura, Makimura Tetsuya; Urai Hikari; Kira Eriko; Niino Hiroyuki, Makimura Tetsuya; Torii Shuichi; Niino Hiroyuki]
通讯作者：
Makimura Tetsuya; Torii Shuichi; Niino Hiroyuki
Ablation of polydimethylsiloxane elastomer using laser-plasma EUV radiation
使用激光等离子体 EUV 辐射烧蚀聚二甲基硅氧烷弹性体
使用激光等离子体 EUV 辐射烧蚀聚二甲基硅氧烷弹性体
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kotaro Oguchi, Erika Kira, Hikari Urai, Tetsuya Makimura]
通讯作者：
Tetsuya Makimura
Ablation of polydimethylsiloxane elastmer using laser-plasma EUV radiation
使用激光等离子体 EUV 辐射烧蚀聚二甲基硅氧烷弹性体
使用激光等离子体 EUV 辐射烧蚀聚二甲基硅氧烷弹性体
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kotaro Oguchi, Erika Kira, Hikari Urai, Tetsuya Makimura]
通讯作者：
Tetsuya Makimura
共 7 条
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