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Micromachining using extreme ultraviolet radiation from laser-produced plasma
使用激光产生的等离子体的极紫外辐射进行微加工
基本信息
- 批准号：18K04770
- 负责人：
- 金额：$ 2.75万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2018
- 资助国家：日本
- 起止时间：2018-04-01 至 2023-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（7）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
High-aspect micromachining of PDMS sheets using laser plasma EUV radiation
使用激光等离子体 EUV 辐射对 PDMS 片材进行高宽比微加工
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Jiang Yuan;Kotaro Oguchi;Tetsuya Makimura
- 通讯作者：Tetsuya Makimura
EUV ablation of polydimethylsiloxane elastomer
聚二甲基硅氧烷弹性体的 EUV 烧蚀
- DOI：
- 发表时间：2023
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kotaro Oguchi;Yuhao Wang;Tetsuya Makimura
- 通讯作者：Tetsuya Makimura
Silica ablation process induced by nanosecond EUV irradiation
纳秒 EUV 照射引起的二氧化硅烧蚀过程
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Jiang Yuan;Kotaro Oguchi;Tetsuya Makimura;Makimura Tetsuya; Urai Hikari; Kira Eriko; Niino Hiroyuki;Makimura Tetsuya; Torii Shuichi; Niino Hiroyuki
- 通讯作者：Makimura Tetsuya; Torii Shuichi; Niino Hiroyuki
Ablation of polydimethylsiloxane elastomer using laser-plasma EUV radiation
使用激光等离子体 EUV 辐射烧蚀聚二甲基硅氧烷弹性体
- DOI：
- 发表时间：2022
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kotaro Oguchi;Erika Kira;Hikari Urai;Tetsuya Makimura
- 通讯作者：Tetsuya Makimura
Ablation of polydimethylsiloxane elastmer using laser-plasma EUV radiation
使用激光等离子体 EUV 辐射烧蚀聚二甲基硅氧烷弹性体
- DOI：
- 发表时间：2022
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kotaro Oguchi;Erika Kira;Hikari Urai;Tetsuya Makimura
- 通讯作者：Tetsuya Makimura
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