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3D-Partikel-Schichtsynthese-Anlage

3D-Partikel-Schichtsynthese-Anlage
3D粒子层合成系统
批准号:
366474547
负责人:
金额:
$0.0万
依托单位国家:
德国
项目类别:
Major Research Instrumentation
财政年份:
2017
资助国家:
德国
项目状态:
未结题
起止时间:
2016-12-31 至 --

项目摘要

项目成果

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[1] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [0] [1] [0]Die geplanten Aktivitäten fokussien audie分析von Plasmajet和partikelstrhl。[2] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]2 .在此基础上,我们提出了一种新的解决方案:等离子体分析和功能分析;在此基础上,我们提出了一种新的解决方案:电化学分析和电位分析。Hinzutritt, dass die HAWK ee9 - hrende Rolle在德国德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语Leihgeräts。Um reduzierbare Schichtbildungen zu bewerkstelligen, m<s:1> ssen等离子体参数(Leistung, temperature - werte and plasmaspeziies) kontinuerlich best estimation and ggf。自动化管理是一项重要的工作。光谱分析方法ermöglichen die Charakterisierung von Atmosphärendruckplasmen。Zur bestimung von bspw。等离子体温度表在hochauflösendes光谱仪nötig, da die Rotationsbanden von z. B. Stickstoffspezies e . Breite von lediglich einem纳米材料。涉及到在零件车间内安装的设备,以及在零件车间内安装的光谱仪测试设备。
英文摘要
Das avisierte Großgerät soll für die Erforschung und Weiterentwicklung einer kalt-geregelten Plasmabeschichtung auf Basis ultrafeiner Partikelkollektive genutzt werden. Die geplanten Aktivitäten fokussieren auf die Analyse von Plasmajet- und Partikelstrahl. Ein wesentliches Ziel ist es, die Schichtbildungsprozesse unter Berücksichtigung maßgeblicher Analysegrößen wie Plasmajettemperaturen und thermokinetische Partikeleigenschaften zu charakterisieren. Die Argumente zur Fokussierung auf die kalte Plasmabeschichtung und die entsprechende Auswahl einer Funktionseinheit, die Beschichtungsinstrumente und umfassende Analytik enthalten soll, sind das große wissenschaftliche und wirtschaftliche Potenzial der Technologie. Hinzutritt, dass die HAWK eine führende Rolle in der Entwicklung des Verfahrens einnehmen konnte – dies allerdings unter Nutzung eines mittlerweile überalterten Leihgeräts. Um reproduzierbare Schichtbildungen zu bewerkstelligen, müssen Plasmaparameter (Leistung, Temperaturwerte und Plasmaspezies) kontinuierlich bestimmt und ggf. automatisiert nachgeregelt werden. Spektroskopische Methoden ermöglichen die Charakterisierung von Atmosphärendruckplasmen. Zur Bestimmung von bspw. Plasmatemperaturen ist ein hochauflösendes Spektrometer nötig, da die Rotationsbanden von z. B. Stickstoffspezies eine Breite von lediglich einem Nanometer haben. Infolge der Notwendigkeit einer dauerhaften Installation im Partikellabor soll der Spektrograph fest eingebaut werden.
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