Ultra-clean magnetron sputter system

超净磁控溅射系统

• 批准号: 387160248
• 金额: --
• 依托单位: Universität Münster
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2017
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2016-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/387160248?language=en
• 关键词: Ultra; clean; magnetron; sputter; system

Für geplante Forschungsarbeiten im Bereich der Quantenoptik, Nanophotonik und supraleitenden Materialien ist ein leistungsfähiges Magnetronsputtersystem erforderlich. Das System muss eine Ultrahochvakuum Umgebung zur Verfügung stellen in der dünne, hochreine Filme aus Niob-basierten Supraleitern mit kontrollierbaren Materialeigenschaften hergestellt werden können. An der WWU ist momentan kein Sputtersystem verfügbar, das solchen Anforderungen gerecht wird. Im Rahmen der Neuberufung von Prof. C. Schuck soll deshalb ein Sputtersystem angeschafft werden, welches hochwertige Supraleiter von wenigen Nanometern Schichtdicke für die Fertigung von Einzelphotonendetektoren erzeugt. Diese neuartige Detektortechnologie wurde von Prof. C. Schuck maßgeblich mitentwickelt und ist elementarer Bestandteil seiner Forschungsaktivitäten. Ein entsprechendes Sputtersystem für supraleitende Materialien ist daher erforderlich, um die Arbeitsfähigkeit der Gruppe zu gewährleisten. Mit dem neuen Gerät sollen supraleitende Schichten von 3-10 nm Dicke hergestellt werden, die dann mit Hilfe lithographischer Techniken im Nanobereich strukturiert werden. Im Bereich der Materialphysik soll das System für elektronenmikroskopische Strukturuntersuchungen an supraleitenden Dünnfilmen verwendet werden. Durch die Einbettung in den Forschungsschwerpunkt Nanophysik soll das Gerät einem interessierten Nutzerkreis zugänglich gemacht werden und die Nanostrukturierungsmöglichkeiten an der WWU entscheidend stärken.

Für geplante Forschungsarbeiten im Bereich der Quantenoptik，Nanophotonik und supraleitenden Materialien ist ein leistungsfähiges Magnetrontersystem erforderlich.该系统需要一个超高压真空管以在其内部进行测试，高压薄膜由具有控制材料特性的铌基超高压薄膜制成，韦尔登将被打开。在WWU的时刻，没有任何溅射系统，这一问题将得到解决。我是C. Schuck soll deshalb ein Sputtersystem angeschafft韦尔登，welches hochwertige Supraleiter von wenigen Nanometern Schichtdicke für die Fertigung von Einzelphotonendetektoren erzeugt.这种新的检测技术是由C. Schuck mäßgeblich mittentwickelt and ist elementarer Bestandteil seiner Forschungsaktivitäten.一个为超物质主义者提供的人造卫星系统是由集团的劳动力组成的。虽然新的Gerät sollen supraleitende Schichten von 3-10 nm迪凯hergestellt韦尔登，dann mit Hilfe lithographischer Techniken im Nanobereich strukturiert韦尔登。In Bereich der Materialphysik soll das System für elektronenmikroskopische Strukturuntersuchungen an supraleitenden Dünnfilmen verwendet韦尔登.在研究纳米物理学中的一个重要问题是，在WWU中有一个韦尔登结构和纳米结构。