リング照明型EUV集光システムを駆使したEUV非線形信号の超高感度計測法開発
リング照明型EUV集光システムを駆使したEUV非線形信号の超高感度計測法開発
开发使用环形照明型 EUV 聚焦系统的 EUV 非线性信号超灵敏测量方法
批准号：
23K17146
负责人：
本山 央人
金额：
$2.66万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2025-03-31
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高次高調波軟Ｘ線源と高精度回転楕円ミラーの開発による軟Ｘ線顕微鏡システムの構築
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批准号：15J08622
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$1.79万
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财政年份：2015
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负责人：本山 央人
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依托单位：
海外基金
