Mehrkanal-Lösungs-Druck-System

专业人士“Polymere Mikrosystem e”Beschäftigt Sich schhre Punktlich MIT neuen，grundLegenden Konzepten von Bauelementen，Schaltungen and groütierten Schaltkreisen der Polymerelektronik in den Beyond-Cmos-and More-Moore-Bereichen Unter Nutzung Bisher Nicht Nicht adressierter Polymere。在紫外光的基础上，建立了一种新的技术--光刻复制技术。在此之前，我们正在研究一种新的技术，即Bedarf an einer Fertiwargslinie，well che(A)die stratstrukturierung and(B)Bauelement de man Schaltungen einer bedeuadend höheren Komplexität auf gro gro？flächigen Substren(200 X 200 Mm2)MIT Minimalen en Strukturen on on约5 pm and einer ad ad quten Bauelement e-Integratione-Entisiizizizizizizizizizizizizizizise Werealisisieren kann。这是一种高效劳动快速成型技术，可用于系统级的激光烧蚀。(B)在Groçflächenbase MIT der forderlichen中集成von Bauelementen auf base verschiedener aktiver Polymere，集成的效率是Nur MIT现代Mehrkanal-LöSungs-Druck-Systeman möglich。De Fertigenggslinie Deckt ebenfall De Ensprechenden Bedarf des ExzellenzClusters CfAED(U.A.Technologien der Organchen Elektronik，Chemischen Informationsverarbeitung，DNA-Assembly)Sowie der Fakultät ElektroTechnik and Information stechniküber das Technologiezentum“Werner Hartmann”。

Die Professur "Polymere Mikrosysteme" beschäftigt sich schwerpunktlich mit neuen, grundlegenden Konzepten von Bauelementen, Schaltungen und großintegrierten Schaltkreisen der Polymerelektronik in den Beyond-CMOS- und More-than-Moore-Bereichen unter Nutzung bisher nicht adressierter aktiver Polymere. Die gegenwärtig etablierten Technologien der UV-basierten Fotolithografie sowie replikativer lithografischer Techniken waren für die Arbeiten auf Bauelemente- und Schaltungsniveau geeignet. Nun, beim Übergang zu einer Technologie für Integrierte Schaltkreise, besteht ein dringender Bedarf an einer Fertigungslinie, welche (a) die Substratstrukturierung und (b) Bauelemente-Integration umfasst, mit der man Schaltungen einer bedeutend höheren Komplexität auf großflächigen Substraten (200 x 200 mm2) mit minimalen Strukturen von ca. 5 pm und einer adäquaten Bauelemente-Integrationstechnologie in effizienter Weise realisieren kann. Eine (a) Großflächensubstratstrukturierung mit der geforderten Präzision in effizientem Labor-Rapid Prototyping ist praktisch nur mit einem Laserablationssystem realisierbar. Die (b) Integration von Bauelementen auf Basis verschiedener aktiver Polymere in Großflächensubstrate mit der erforderlichen Integration ist effizient nur mit modernen Mehrkanal-Lösungs-Druck-Systemen möglich. Die Fertigungslinie deckt ebenfalls den entsprechenden Bedarf des Exzellenzclusters CfAED (u.a. Technologien der organischen Elektronik, chemischen Informationsverarbeitung, DNA-Assembly) sowie der Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik über das Technologiezentrum „Werner Hartmann".