使用簇束原子层蚀刻和照射位置控制进行超高精度形状创建-猫眼课题宝

使用簇束原子层蚀刻和照射位置控制进行超高精度形状创建

批准号：

23K22649

负责人：

豊田紀章

金额：

$3.08万

依托单位：

University of Hyogo

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

财政年份：

2024

资助国家：

日本

项目状态：

未结题

起止时间：

2024-02-28 至 2025-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23K22649/

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Ultra-precise fabrication technology by location specific atomic layer etching with cluster beam

批准号：

22H01378
项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
资助金额：

$11.07万
财政年份：

2022
负责人：

豊田紀章
依托单位：

University of Hyogo

ガスクラスターイオンビームを用いた超精密3次元形状加工技術の開発

批准号：

17760584
项目类别：

Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
资助金额：

$2.18万
财政年份：

2005
负责人：

豊田紀章
依托单位：

University of Hyogo