ピエゾ抵抗型MEMS力センサの極限の追求
ピエゾ抵抗型MEMS力センサの極限の追求
追求压阻式 MEMS 力传感器的极限
批准号：
23K22704
负责人：
下山 勲
金额：
$2.25万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-02-28 至 2025-03-31
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会议论文
ピエゾ抵抗型MEMS力センサの極限の追求
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批准号：22H01433
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$11.23万
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财政年份：2022
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负责人：下山 勲
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依托单位：
液体への直接蒸着有機膜の性質の研究
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批准号：11F01048
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$0.51万
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财政年份：2011
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负责人：下山 勲
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依托单位：
MEMS微細構造を用いた可変構造色
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批准号：16651076
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项目类别：Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额：$2.3万
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财政年份：2004
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负责人：下山 勲
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依托单位：
宇宙用マニピュレ-タの知的自動化に関する研究
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批准号：01550202
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$0.83万
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财政年份：1989
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负责人：下山 勲
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依托单位：
弾性を有するロボット・アームの動的制御
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批准号：60550172
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$1.09万
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财政年份：1985
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负责人：下山 勲
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依托单位：