固体電解質を用いた環境調和型電気化学機械研磨のメカニズム解明と技術体系の構築
固体電解質を用いた環境調和型電気化学機械研磨のメカニズム解明と技術体系の構築
固体电解质环境友好型电化学机械抛光机理阐明及技术体系构建
批准号：
23K26015
负责人：
村田 順二
金额：
$7.9万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-02-28 至 2026-03-31
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会议论文
固体電解質を用いた環境調和型電気化学機械研磨のメカニズム解明と技術体系の構築
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批准号：23H01320
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$11.73万
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财政年份：2023
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负责人：村田 順二
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依托单位：
固体電解質のイオン輸送を用いた環境調和型電気化学表面プロセスの開発
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批准号：23K17725
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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资助金额：$3.99万
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财政年份：2023
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负责人：村田 順二
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依托单位：
触媒基準エッチング法による半導体基板平坦化技術の開発
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批准号：07J52763
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$0.58万
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财政年份：2007
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负责人：村田 順二
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依托单位：