固体電解質を用いた環境調和型電気化学機械研磨のメカニズム解明と技術体系の構築

固体电解质环境友好型电化学机械抛光机理阐明及技术体系构建

基本信息

  • 批准号:
    23H01320
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 11.73万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份:
    2023
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2023-04-01 至 2026-03-31
  • 项目状态:
    未结题

项目摘要

项目成果

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    $ 11.73万
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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