電離放射線用金属含有レジストの反応機構の解明
電離放射線用金属含有レジストの反応機構の解明
阐明含金属抗蚀剂对电离辐射的反应机理
批准号：
24H00443
负责人：
古澤 孝弘
金额：
$30.37万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2029-03-31
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会议论文
サブピコ秒パルスラジオリシス法によるナノリソグラフィ材料の反応機構の解明と開発
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批准号：14780406
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$1.22万
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财政年份：2002
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负责人：古澤 孝弘
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依托单位：
次世代Xバンド加速によるフェムト秒ライナックの設計
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批准号：08780467
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.7万
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财政年份：1996
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负责人：古澤 孝弘
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依托单位：
化学増幅型レジストの放射線誘起反応機構の解明
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批准号：06780401
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1994
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负责人：古澤 孝弘
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依托单位：