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極低温環境対応マイクロアクチュエータ駆動用圧電振動子の試作研究

極低温環境対応マイクロアクチュエータ駆動用圧電振動子の試作研究
用于驱动与低温环境兼容的微执行器的压电振动器的原型研究
批准号：
24K00791
负责人：
神田 岳文
金额：
$11.81万
依托单位：
Okayama University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2028-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24K00791/
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走査機構一体型圧電薄膜振動子プローブを利用したプローブセンサシステム
  • 批准号：
    15710106
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $2.43万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    神田 岳文
  • 依托单位：
    Okayama University
水熱合成法によるPZT薄膜を用いた振動形センサとそのシステム化
  • 批准号：
    99J09939
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.73万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    神田 岳文
  • 依托单位：
    The University of Tokyo